簡(jiǎn)單升級(jí)老化的熱式流量控制器

艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對(duì)端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線(xiàn)連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。

更多產(chǎn)品信息請(qǐng)查看質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號(hào)
• Applications

性能

• 可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿(mǎn)量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）
• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：

• MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
• 艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)

配件（需另行訂購(gòu)）

• 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
• 電源
• 通訊線(xiàn)纜和轉(zhuǎn)換線(xiàn)纜
• BB3和BB9多點(diǎn)式集線(xiàn)盒
• Flow Vision軟件