Alicat MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器
簡單升級老化的熱式流量控制器
Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質量流量控制器是真空專用設備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下:與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快,外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現(xiàn)端對端的匹配連接。
Alicat MCV和MCE聯(lián)系緊密,采用內(nèi)置氣動截止閥,適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上,防止在設定點為零時出現(xiàn)污染情況。
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡中。
耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。
艾里卡特Alicat提供*的質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
性能
可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標簽)
可調(diào)比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
可重復性:0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
氣動閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦氣)
無需預熱時間
工作條件
兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度:-10°C至+60°C
內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
耐受壓力:175 psig(190 psia)
STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
MCE或MCV系列包裝清單:
MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器(電源需另行訂購)
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
配件(需另行訂購)
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件