MC系列氣體質(zhì)量流量控制器
可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。
響應(yīng)式氣體流量控制，抑制壓力波動
性能的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。
- 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
- 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
- 耐用?？稍诓皇軗p的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的MFC構(gòu)建IP66等級防護(hù)。
更多產(chǎn)品信息請查看質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
- Specs
- 定制
- 零件編號
- Applications
性能
- 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標(biāo)簽）
- 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
- 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 可重復(fù)性：0.2%滿量程
- 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
- 無需預(yù)熱時間
工作條件
- 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
- 工作溫度：-10°C至+60°C
- 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
- 耐受壓力：175 psig（190 psia）
包裝清單
- MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
- NIST可溯源校準(zhǔn)證書
- 艾里卡特操作說明書
配件（需另行訂購）
- 過程端口接頭和過濾器
- 電源
- 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
- BB3和BB9多點式集線盒
- Flow Vision軟件
