MC系列氣體質(zhì)量流量控制器
美國(guó)艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美國(guó)成立,是杰出的質(zhì)量流量和壓力解決方案廠商,隸屬于英國(guó)豪邁(Halma)集團(tuán)環(huán)境與分析事業(yè)部,榮膺“年度子公司獎(jiǎng)”、“業(yè)務(wù)拓展增長(zhǎng)獎(jiǎng)”和“豪邁創(chuàng)新獎(jiǎng)”。
Alicat產(chǎn)品采用層流差壓式原理,擁有LFE技術(shù),憑借航天級(jí)水準(zhǔn),長(zhǎng)期支持美國(guó)航天局(NASA)、SpaceX火箭項(xiàng)目,并為科研及工業(yè)領(lǐng)域提供快捷、穩(wěn)定的技術(shù)解決方案。
產(chǎn)品類型:氣體或液體質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
客戶行業(yè):實(shí)驗(yàn)科研、環(huán)境保護(hù)、生物醫(yī)藥、過(guò)程控制、能源化工、半導(dǎo)體以及相關(guān)的公共事業(yè)。
應(yīng)用領(lǐng)域:計(jì)量檢測(cè)、泄漏測(cè)試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。
響應(yīng)式氣體流量控制,抑制壓力波動(dòng)
性能好的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值,并保持該設(shè)定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能,確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
- 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力;可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
- 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項(xiàng),可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
- 耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性,我們可為您的MFC構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
氣體噴射控制pH值
在跨度極寬的量程范圍內(nèi)迅速調(diào)整并控制質(zhì)量流量以符合不斷變化的應(yīng)用需要。根據(jù)PLC或PC的數(shù)字反饋,實(shí)時(shí)更改流量設(shè)定值,保持過(guò)程工藝條件。
自定義氣體混合系統(tǒng)
艾里卡特的質(zhì)量流量控制器非常適用于構(gòu)建自定義氣體混合系統(tǒng);在這種類型應(yīng)用中,可充分發(fā)揮其固有的靈活性和適應(yīng)性。
高溫質(zhì)量流量控制
艾里卡特的遠(yuǎn)程電子器件選項(xiàng)將電子器件與傳感器和流量?jī)x表主體部分分隔開(kāi)來(lái)。這允許流動(dòng)的高溫氣體通過(guò)流量?jī)x表的主體部分,且不會(huì)使控制器電子器件超出其設(shè)計(jì)溫度。
更多產(chǎn)品信息請(qǐng)查看質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。
性能
- 可用量程:大0-5000 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽)
- 可調(diào)比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
- 標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
- 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
- 可重復(fù)性:0.2%滿量程
- 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
- 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
工作條件
- 兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
- 工作溫度:-10°C至+60°C
- 大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
- 耐受壓力:175 psig(190 psia)
包裝清單
- MC系列氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購(gòu))
- NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
- 艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件(需另行訂購(gòu))
- 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
- 電源
- 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
- BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
- Flow Vision軟件
型號(hào)變體
- 低壓損型號(hào),多60 psia(MCW系列)
- 高壓型號(hào),160-320 psia(MCQ系列)
- 閥門(mén)內(nèi)置(確保與SEMI端口長(zhǎng)度*)型號(hào)(MCE系列)
- 配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào),適合真空應(yīng)用(MCV系列)
- 腐蝕性氣體型號(hào)(MCS系列,見(jiàn)下文)
閥門(mén)選項(xiàng)
您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén),以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。
- MC系列—選配小型比例控制閥,適用于20 slpm及以下量程
- 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥,適用于壓力較高的某些應(yīng)用
- MCP系列—選配大孔徑的小型比例控制閥(對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用)
- MCH系列—選配錘頭狀配置,將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì),用作一個(gè)閥門(mén)。
- MCR系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥,適用于50 slpm及以上流量
腐蝕性氣體(MCS系列)
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中,還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置(即MCS系列)可供選擇。該配置中,我們將閥門(mén)升級(jí)為303不銹鋼閥門(mén),傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器,彈性體材料升級(jí)為FFKM。對(duì)于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程,需采用316L不銹鋼,在這種情況下,我們可以同時(shí)將滿量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門(mén)(PCA型)和流量?jī)x表主體部分升級(jí)為316L材質(zhì)。
結(jié)構(gòu)選項(xiàng)
- 通訊協(xié)議(模擬通訊,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
- 顯示屏(單色或彩色,內(nèi)置或面板安裝)
- 工藝連接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭)
- 彈性體材料(氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂)
性能選項(xiàng)
- 流量累加器
- 集成式電位計(jì)控制
- 高精度或自定義校準(zhǔn)