納米操作機(jī)LF-2000
小尺寸：小型化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊
高精度：納米級(jí)微操作
易操作：XYZ直角坐標(biāo)，支持PC/遙感操作
產(chǎn)品特性
· 兼容主流電鏡，不影響電鏡功能
· 具有大行程、亞納米分辨率運(yùn)動(dòng)定位性能
· 位移傳感器集成自動(dòng)化和可編程運(yùn)動(dòng)
· SEM真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì)，可快速安裝與拆卸
規(guī)格參數(shù)
系統(tǒng)概況 | 系統(tǒng)尺寸 | 127x127x33mm3* |
機(jī)械手?jǐn)?shù)量 | 1-4 | |
操作手（宏動(dòng)） | 驅(qū)動(dòng)原理 | 粘滑驅(qū)動(dòng) |
運(yùn)動(dòng)范圍 | XY軸：10mm Z軸：5mm | |
大速度 | >3mm/s | |
小步長(zhǎng) | <100nm | |
操作手（微動(dòng)） | 驅(qū)動(dòng)原理 | 無(wú)摩擦柔性鉸鏈 |
運(yùn)動(dòng)范圍 | XYZ軸：20μm | |
大速度 | >45μm/s | |
開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率 | 0.5nm | |
閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率 | 1nm | |
定位漂移率 | <0.35nm/min | |
軟件功能** | 點(diǎn)擊-移動(dòng) | 鼠標(biāo)在電腦屏幕上從A移動(dòng)到B |
自適應(yīng)放大倍數(shù) | 定位器移動(dòng)速度根據(jù)SEM放大自動(dòng)調(diào)整 | |
操作手位置保存/加載 | 用戶自定義的“保存/加載”操作手坐標(biāo) | |
3D虛擬顯示 | 實(shí)時(shí)三維顯示操作手的位置和運(yùn)動(dòng) | |
自動(dòng)校準(zhǔn) | 操作手閉環(huán)傳感器自動(dòng)校準(zhǔn) | |
運(yùn)動(dòng)軸的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn) | 所有操作手運(yùn)動(dòng)軸自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)SEM圖像軸 |
*系統(tǒng)尺寸可根據(jù)需要減小到50x50x17mm3
**可根據(jù)選定SEM/FIB的型號(hào)而定
應(yīng)用案例
電學(xué)特性
LifeForce為納米材料提供可靠、低噪音的電測(cè)量，以及與納米結(jié)構(gòu)的原位相互連接。實(shí)例照片展示的是四探針測(cè)量納米線電學(xué)性能。
力學(xué)測(cè)量
LifeForce為納米材料的力學(xué)特性提供高分辨率的力和位移反饋，實(shí)例照片展示的是用球端AFM懸臂探針對(duì)硅納米線簇進(jìn)行納米壓痕，以及對(duì)單根納米線的拉伸測(cè)試。
拾取和放置操作
使用末端工具（例如：探針、微納米夾持器、超聲切割針），操作者能夠操作LifeForce納米操作手在SEM電鏡內(nèi)對(duì)微納米物體進(jìn)行推、拉和抓取等操作。
制作微納米器件
精密的操作手運(yùn)動(dòng)能夠?qū)崿F(xiàn)微納米器件的快速成型和后處理。實(shí)例照片展示的是納米線FET傳感器的構(gòu)造。
納米電子器件電學(xué)測(cè)量
LifeForce納米操作機(jī)是市面上能夠自動(dòng)探測(cè)電子結(jié)構(gòu)（范圍從亞微米，亞100nm及亞20nm）。只需要通過(guò)計(jì)算機(jī)點(diǎn)擊鼠標(biāo)，將探針定位到目標(biāo)位置。極低得定位漂移，保證數(shù)據(jù)采集得可靠性。
