產(chǎn)品特性
· 同步AFM 和 SEM 成像
· 兼容市面上的主流SEM電鏡
· 超高分辨率形貌掃描
· 通過納米壓痕定量測量納米力
· 真空載鎖兼容
· 操作穩(wěn)定性高，不受SEM電子束干擾
規(guī)格參數(shù)
應(yīng)用案例
SEM-AFM圖像融合
SEM成像具有高橫向分辨率和掃描速率的優(yōu)勢，結(jié)合AFM成像提供的三維形貌信息，可獲取新的而又全面的信息
亞納米成像分辨率
全閉環(huán)編碼系統(tǒng)確保在沒有圖像失真的情況下獲得超高形貌成像分辨率，同時獲取亞納米成像分辨率。
納米壓痕和拉伸測試
樣品的納米力學(xué)性能可以在該儀器中通過納米壓痕和納米拉伸測試試驗技術(shù)進行測量。在SEM電鏡成像下，可實時觀測壓痕和拉伸過程。軟件提供了內(nèi)置的計算工具，用于分析和顯示獲取的觀測數(shù)據(jù)。
高真空環(huán)境/SEM兼容
結(jié)構(gòu)緊湊的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能夠在數(shù)秒內(nèi)完成安裝和拆卸。系統(tǒng)允許很小的工作范圍（5mm），同時兼容標準的SEM分析技術(shù)（如EDS、EBSD、WSD）。
