DSN系列氣體質(zhì)量流量計(jì)
采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC氣體流量控制器具有更*的性能優(yōu)勢(shì)：
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～30、50、100、200SLM；DSN系列氣體質(zhì)量流量計(jì)
準(zhǔn)精度：±2％F.S； 重復(fù)精度：±0.2%F.SDSN系列氣體質(zhì)量流量計(jì)
響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec
線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
耐壓：3，10MPa； 工作環(huán)境溫度：5～45℃
輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00Vdc(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)
電源：+15V,500mA、-15V,500mA
電連接器：D14pin
外形尺寸：130*28*130mm
重量：約1.5kg
接口尺寸：Swagelok:Φ8.Φ10.Φ3/8〞....
VCR接頭:Φ3/8〞.Φ5/8〞........
氣體-流量范圍30-200SLPM)
DSN-MFC模擬氣體質(zhì)量流量控制器采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC氣體流量控制器具有更*的性能優(yōu)勢(shì)：
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性。
2.高精密的控制機(jī)構(gòu)。
3.高速響應(yīng) MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.長(zhǎng)壽命（正常使用可達(dá)十年以上）。
5.氣體流量控制器采用微小尺寸的傳感器，消除了“傳感器”本身熱效應(yīng)對(duì)層流的破壞，“零點(diǎn)漂移”小于1%。
6.氣體流量控制器可自行清除工作過(guò)程中的表面污物（注：此項(xiàng)操作須在生產(chǎn)廠家進(jìn)行）。
7.氣體流量控制器適應(yīng)于一切氣體（包括腐蝕性氣）。
8.氣體流量控制器采用一體化設(shè)計(jì)，具有*的抗電磁干擾性能。
