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2205螺母---螺栓

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地無(wú)錫市
  • 更新時(shí)間2019-12-06
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限7
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量9996
  • 人氣值103772
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無(wú)錫國(guó)勁合金有限公司主要從事合金事業(yè);主要經(jīng)營(yíng)哈氏合金、蒙乃爾合金、銅鎳合金、鈷鎳合金、鎳基合金、耐蝕合金、高溫合金、因瓦合金HastelloyC-276高溫合金緊固件。 國(guó)勁與寶鋼、撫鋼、太鋼、南鋼、首鋼建立良好的市場(chǎng)關(guān)系,奔著互相學(xué)習(xí)、質(zhì)量為重的目標(biāo)思想,本著“品質(zhì)、誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)”的理念,經(jīng)過(guò)貫徹標(biāo)準(zhǔn),建立了有效的質(zhì)量保證體系,為本公司的管理和生產(chǎn)了有力的質(zhì)量保證HC-276彎頭法蘭。 主要經(jīng)營(yíng)牌號(hào):HC-276、HC-22、HG-30、Monel400、Monelk500、NS143、NS143、GH4145、GH4169、GH2132、GH3039、GH3044、GH3030、Inconel600、Inconel625、Inconel718、Incoloy800、Incoloy825、Inconel690、Incoloy925、Alloy20、4J36、S32750、S32760、S32205、254SMo、904L、310S、TP347H、17-7ph、17-4ph。國(guó)勁合金并可根據(jù)客戶需求定做無(wú)縫管、焊管、卷管;鋼板、厚板、卷板、鋼帶;圓棒、棒材、盤(pán)條、焊絲;標(biāo)準(zhǔn)件、緊固件、螺栓、螺母、螺栓、螺絲;鍛制管件、法蘭、三通、四通、彎頭;大鍛件、鍛圓、鍛方、鍛板、鍛環(huán)。

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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn) 加工定制
2205螺母--
螺栓:機(jī)械零件,配用螺母的圓柱形帶螺紋的緊固件。由頭部和螺桿(帶有外螺紋的圓柱體)兩部分組成的一類(lèi)緊固件,需與螺母配合,用于緊固連接兩個(gè)帶有通孔的零件。 這種連接形式稱螺栓連接。如把螺母從螺栓上旋下,又可以使這兩個(gè)零件分開(kāi),故螺栓連接是屬于可拆卸連接
2205螺母---螺栓 產(chǎn)品詳情

2205螺栓無(wú)錫國(guó)勁主營(yíng)我們的產(chǎn)品:我們的公司專業(yè)致力于生產(chǎn)螺母類(lèi)、螺栓類(lèi)、墊圈墊片類(lèi)、自攻類(lèi),緊定類(lèi),銷(xiāo)鍵類(lèi),鉚接焊接類(lèi),組合類(lèi),錨栓類(lèi),喉箍索具類(lèi),螺套鑲嵌類(lèi)等十三大類(lèi)一百余小類(lèi)目等,常用規(guī)格常年備有庫(kù)存。近日,柳鋼深入基層單位開(kāi)展下訪調(diào)研,設(shè)立接訪室、聽(tīng)取職群眾訴求等,以直面問(wèn)題不繞道、回應(yīng)關(guān)切不推諉的態(tài)度,妥善解決涉及群眾利益的難點(diǎn)問(wèn)題。這對(duì)基層員來(lái)說(shuō)是反映訴求的“綠通道”同時(shí)這是對(duì)干部的一道辣“麻辣燙”也是柳鋼監(jiān)察部門(mén)不斷強(qiáng)化執(zhí)紀(jì)保持懲治高壓態(tài)勢(shì)的縮影今年以來(lái),伴隨著從嚴(yán)治的鏗鏘足音,柳鋼監(jiān)。強(qiáng)震懾,懲腐除惡不松懈不停步↑柳鋼屆第二次全體(擴(kuò)大)會(huì)議“對(duì)推進(jìn)從嚴(yán)治,始終堅(jiān)持‘只緊不松’,有多少問(wèn)題就解決多少問(wèn)題;對(duì)懲治力度,始終堅(jiān)持‘只強(qiáng)不弱’,有腐必反、有貪必肅?!蹦瓿趿搶玫诙稳w(擴(kuò)大)會(huì)議,柳鋼委、潘世慶的話語(yǔ)擲地有聲。在柳鋼屆四次職上,柳鋼委副、副、總經(jīng)理甘貴平也強(qiáng)調(diào),全力推進(jìn)風(fēng)廉政建設(shè)和敗作,加大違紀(jì)問(wèn)題查處力度,嚴(yán)格追究,保持高壓態(tài)勢(shì),不斷推動(dòng)從嚴(yán)治向基層延伸。


2205螺栓如,由鋼企業(yè)會(huì)制定,并于2018年1月16日實(shí)施的T/SSEA2018熱軋合金鋼棒,明確了合金鋼坯、材的征,適用于(如形或圓形坯、材的鑒定),對(duì)規(guī)范進(jìn)出口產(chǎn)品、打擊漏具有重要意義。2017年,鋼企業(yè)會(huì)成立。兩年多以來(lái),其制定了多個(gè)鋼產(chǎn)品細(xì)分領(lǐng)域的團(tuán)體,在規(guī)范鋼企市場(chǎng)行為等方面起到了良好的效果。王懷世表示,隨著化作的不斷推進(jìn),為進(jìn)一步助推鋼產(chǎn)業(yè)高發(fā)展,鋼協(xié)高度化作,將通過(guò)重點(diǎn)國(guó)內(nèi)兩個(gè)鋼應(yīng)用領(lǐng)域的細(xì)分市場(chǎng)來(lái)積極布局鋼行業(yè)團(tuán)體化作。一是瞄準(zhǔn)水平,制定與接軌的鋼產(chǎn)品,激發(fā)企業(yè)動(dòng)力,對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴。二是制定細(xì)分領(lǐng)域團(tuán)體,下游用鋼行業(yè)定制化市場(chǎng)需求,競(jìng)爭(zhēng)能力。三是市場(chǎng)需要,圍繞新材料,尤其是鋼產(chǎn)品和應(yīng)用領(lǐng)域已經(jīng)處于水平的新產(chǎn)品、新,制定適用性強(qiáng)、代表行業(yè)水平或優(yōu)于水平的團(tuán)體。特別是大多數(shù)精密模具要從國(guó)外進(jìn)口,價(jià)格*,并且配件種類(lèi)少。若是早期失效,將給企業(yè)造成重大的經(jīng)濟(jì)損失。因此極其需要一種方便的將金屬補(bǔ)到模具上去,以恢復(fù)模具表面的好。在實(shí)際應(yīng)用中,有幾種可供選擇。使用較早的是焊接工藝。回火溫度進(jìn)一步時(shí),薄片狀碳化物通過(guò)破裂、、長(zhǎng)大而成為顆粒狀碳化物,故使脆性下降,沖擊韌性升高。還有一種理論為晶界偏聚理論。即在奧氏體化時(shí)雜質(zhì)元素P、Sn、Sb、As等將偏聚于晶界。雜質(zhì)元素的偏聚引起晶界弱化而沿晶脆斷。雜質(zhì)元素在奧氏體晶界的偏聚已用俄歇(Auger)電子譜儀及離子探針證實(shí)。第二類(lèi)元素能夠促進(jìn)雜質(zhì)元素在奧氏體晶界的偏聚,故能促進(jìn)類(lèi)回火脆性的發(fā)展。

2205非標(biāo)螺栓定做苗長(zhǎng)興指出,鋼鐵企業(yè)在方面與國(guó)外企業(yè)相仍然有一定的差距,主要體現(xiàn)在理念滯后、僵化、動(dòng)力不足、市場(chǎng)化程度低等方面。鋼鐵企業(yè)必須盡快自身的,適應(yīng)現(xiàn)代企業(yè)制度的要求,向要效益。一是進(jìn)一步認(rèn)識(shí)。加強(qiáng)企業(yè)和不僅關(guān)系到企業(yè)自身的發(fā)展,也關(guān)系到產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)。要充分認(rèn)識(shí)到的重要性,把和放到同等重要的位置上,有利于和的機(jī)制和文化氛圍,努力企業(yè)發(fā)展、效益和核心競(jìng)爭(zhēng)力。二是積極借鑒。學(xué)習(xí)借鑒其他企業(yè)的成功,是企業(yè)水平的重要途徑。企業(yè)間要多交流溝通,多向企業(yè)學(xué)習(xí),自身的能力。三是進(jìn)一步。企業(yè)要新一輪科技和產(chǎn)業(yè)變革的戰(zhàn)略機(jī)遇,結(jié)合經(jīng)濟(jì)高發(fā)展的新形勢(shì)、新要求,積極適應(yīng)數(shù)字化、絡(luò)化、智能化融合發(fā)展的企業(yè)新?! …h(huán)保政策方面,為抗震紀(jì)念活動(dòng)時(shí)代空氣,唐山12日0時(shí)-31日24時(shí)露天礦山、工地停工,應(yīng)用煤氣爆發(fā)爐的軋鋼、鑄造等企業(yè)對(duì)加熱爐停產(chǎn),燒結(jié)排放污染物50%,焦化出焦時(shí)間至36小時(shí),25日0時(shí)起確花費(fèi)的條件下全市燒結(jié)、焦化停產(chǎn)。

2205螺栓現(xiàn)貨面對(duì)衡水的反對(duì),作了邢鋼搬遷的“衡水湖保護(hù)環(huán)評(píng)專篇”,邢臺(tái)市和河北省程評(píng)估中心(屬河北省生態(tài)廳)也先后組織了兩次專家論證,程院院士、環(huán)保領(lǐng)域郝吉明和賀克斌各為專家組組長(zhǎng),結(jié)論都大體是“對(duì)衡水湖生態(tài)影響較小、風(fēng)險(xiǎn)可控”。邢鋼的新河廠址本來(lái)距離衡水市冀州區(qū)3.1公里,衡水反對(duì)聲出來(lái)后,新河區(qū)進(jìn)行規(guī)劃,把邢鋼選址從區(qū)東區(qū)的東南部挪到了西南部,距離衡水市界5.1公里。除了向遠(yuǎn)離衡水的方向挪動(dòng)選址,邢鋼項(xiàng)目還了規(guī)劃建設(shè)的高架源(煙囪)高度,藝,污染物排放參數(shù)等。一名邢鋼人士告訴南方,“項(xiàng)目環(huán)評(píng)報(bào)告還在進(jìn)一步修改中?!辈贿^(guò),衡水顯然不于這些,而是希望邢鋼直接改變搬遷地,遠(yuǎn)離衡水的家門(mén)口。一位衡水表示,“我相信我們是正義的,這種以鄰為壑的行為不會(huì)成功。


2205螺栓定制”鋼協(xié)于1986年成立,與鋼行業(yè)共同經(jīng)歷了計(jì)劃經(jīng)濟(jì)向市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)過(guò)渡、大規(guī)模裝備現(xiàn)代化改造,以及2015年全行業(yè)虧損72.1億元等幾個(gè)關(guān)鍵時(shí)期,見(jiàn)證了鋼行業(yè)自1986年以來(lái)的發(fā)展史。2019年,鋼協(xié)獲批成為*28家入選培優(yōu)計(jì)劃的社會(huì)團(tuán)體,也是鋼鐵冶金領(lǐng)域的入選機(jī)構(gòu)。鋼協(xié)高度化作積極發(fā)揮“兜底線”和作用“讓行業(yè)來(lái)引導(dǎo)在規(guī)范作中無(wú)法涉及到的領(lǐng)域,引導(dǎo)企業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)和自律發(fā)展,這是多年以前提出的職能逐步轉(zhuǎn)換的一個(gè)重要舉措?!蓖鯌咽澜榻B,把鋼協(xié)推向鋼行業(yè)細(xì)分市場(chǎng)規(guī)范作的臺(tái)前,是因?yàn)殇搮f(xié)對(duì)行業(yè)內(nèi)各企業(yè)的水平、儲(chǔ)備和核心競(jìng)爭(zhēng)力水平等情況相對(duì)熟悉,能夠深刻、敏銳地察覺(jué)到所處行業(yè)的生存狀態(tài)、存在問(wèn)題、潛在危險(xiǎn)和發(fā)展前景?! ⊥ㄖ€提出,各落實(shí)建立碳排放權(quán)生意市需的任務(wù)經(jīng)費(fèi),爭(zhēng)奪安插專項(xiàng)資金,專門(mén)支撐碳排放權(quán)生意相干任務(wù)。另外,也應(yīng)積極展開(kāi)對(duì)外協(xié)作,應(yīng)用協(xié)作資金支撐才華建立等基礎(chǔ)任務(wù)。各央企團(tuán)體應(yīng)為本團(tuán)企業(yè)增強(qiáng)碳排放辦理任務(wù)安插經(jīng)費(fèi)支撐,支撐展開(kāi)才華建立、數(shù)據(jù)報(bào)送等相干任務(wù)。

由于5G通信通過(guò)聯(lián)通進(jìn)行傳輸,數(shù)據(jù)需要發(fā)送到廠外區(qū)域,因此,后期馬鋼將重點(diǎn)數(shù)據(jù)問(wèn)題。馬鋼將利用邊緣計(jì)算能夠就近提供邊緣智能的點(diǎn),業(yè)在敏捷聯(lián)接、實(shí)時(shí)業(yè)務(wù)、與隱私保護(hù)等方面的需求。此外,絡(luò)邊界部署MEC(關(guān)),絡(luò)傳輸時(shí)延。中心智能制造寶武與楊浦區(qū)攜手打造級(jí)科創(chuàng)園區(qū)2019-12-0415:11:00(王磊)11月28日,上海“+”產(chǎn)業(yè)園(互聯(lián)寶地產(chǎn)業(yè)園,以下簡(jiǎn)稱互聯(lián)寶地)建設(shè)作小組會(huì)議在上海。寶武委、陳德榮,總經(jīng)理、委副胡望明與上海市楊浦區(qū)委李躍旗,楊浦區(qū)委副、區(qū)長(zhǎng)謝堅(jiān)鋼等,專題研究互聯(lián)寶地二期程建設(shè)有關(guān)作,并就攜手打造級(jí)科創(chuàng)園區(qū)進(jìn)行了深入的交流。會(huì)上,上?!?”產(chǎn)業(yè)園匯報(bào)了一期招商、二期項(xiàng)目程建設(shè)情況和后續(xù)作設(shè)想。施焊溫度宜在0℃以上,且不宜在施焊中發(fā)生幅度較大的波動(dòng)。當(dāng)溫度低于O℃時(shí).焊接應(yīng)進(jìn)行預(yù)熱處理,預(yù)熱溫度為80~100℃。2.強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新我國(guó)的材料應(yīng)用企業(yè)一般規(guī)模不大。而企業(yè)作為加工應(yīng)用技術(shù)研究、研發(fā)投入的主體,單個(gè)企業(yè)投入研究可能負(fù)擔(dān)較重,因此同類(lèi)應(yīng)用企業(yè)和加工裝備制造企業(yè)應(yīng)當(dāng)聯(lián)合起來(lái)形成產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟,如以股份制形式共同出資投入組建研究團(tuán)隊(duì),形成共有共享的技術(shù),從而促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展著碳化硅晶體的不斷,對(duì)碳化硅(SiC)基半導(dǎo)體器件已開(kāi)始大量研究[1-2].由于SiC晶體具有很強(qiáng)的共價(jià)鍵,高溫?cái)U(kuò)散或離子注入等制備器件功能層都存在很大的局限性[3].而通過(guò)化學(xué)氣相外延(CVD)同質(zhì)外延一層結(jié)晶高,摻雜可控的功能層是目前進(jìn)行器件制備的一個(gè)重要途徑[4-6].早期的碳化硅同質(zhì)外延使用(0001)正角襯底,很難避免3C-SiC多晶的產(chǎn)生.而通過(guò)采用偏離(0001)面一定角度的襯底,利用臺(tái)階側(cè)向生長(zhǎng)的可以實(shí)現(xiàn)晶型的延續(xù),即使在較低的生長(zhǎng)溫度下也可高結(jié)晶的SiC同質(zhì)外延膜[6].碳化硅同質(zhì)外延常用的CVD設(shè)備主要有常壓冷壁和低壓熱壁兩種類(lèi)型[7].常壓冷壁CVD具有設(shè)備相對(duì)簡(jiǎn)單,外延膜摻雜更易控制等優(yōu)點(diǎn),適合生長(zhǎng)微電子器件所需的優(yōu)質(zhì)摻雜控制的薄膜,但是由于熱解效率低等因素,常壓冷壁CVD的外延膜生長(zhǎng)速率一般較低,通常在2~3μm/h.為了在常壓冷壁CVD設(shè)備上實(shí)現(xiàn)外延膜的優(yōu)質(zhì)高速生長(zhǎng),本研究使用自制常壓冷壁CVD設(shè)備,在1400℃下進(jìn)行4H-SiC外延膜生長(zhǎng)研究.1實(shí)驗(yàn)1.1碳化硅同質(zhì)外延膜的制備實(shí)驗(yàn)使用的是Cree公司生長(zhǎng)的8°偏向<1120>的4H-SiC晶片.晶片經(jīng)過(guò)、V(NH4OH):V(H2O2):V(H2O)=1:1:5清洗后,在10%HF中浸泡5min.每步清洗后均用去離子水漂洗,后用高純N2吹干后立刻放入CVD反應(yīng)進(jìn)行生長(zhǎng).生長(zhǎng)分為兩步:首先在1300℃進(jìn)行原位腐蝕處理;之后升溫至1400℃并通入源氣體進(jìn)行外延生長(zhǎng).具體的生長(zhǎng)工藝條件見(jiàn)圖1,原位處理采用H2/HCl,生長(zhǎng)的氣源為H2SiH4C3H8.通過(guò)改變丙烷的流量控制生長(zhǎng)中的碳硅比(C/Si).部分高生長(zhǎng)速率樣品在生長(zhǎng)初始階段先以高C/Si比(2.5~4.0)、低生長(zhǎng)速率生長(zhǎng)一層200nm左右的界面過(guò)渡層,再逐漸過(guò)渡到正常生長(zhǎng).1.2生長(zhǎng)后的外延膜通過(guò)光學(xué)顯微鏡觀察表面形貌.通過(guò)Raman光譜并輔以KOH腐蝕結(jié)果確認(rèn)晶型.通過(guò)斷面SEM計(jì)算外延膜的生長(zhǎng)速率.通過(guò)KOH腐蝕研究外延膜中的晶體缺陷.2結(jié)果與討論2.1外延膜的晶型表征生長(zhǎng)完成后,首*行了Raman表征以確定1400℃生長(zhǎng)時(shí)外延膜的晶型.如圖2所示,對(duì)比外延膜和襯底的Raman光譜可以看出,即使在1400℃的低生長(zhǎng)溫度下,外延膜仍很好的延續(xù)襯底晶型.需要注意的是,在實(shí)驗(yàn)樣品中折疊縱光學(xué)(FLO)模出現(xiàn)在980cm1,與理論上的964cm1有一定差別.Kitamura等[8]研究發(fā)現(xiàn),晶體的摻雜濃度會(huì)明顯改變FLO的位置.根據(jù)他們實(shí)驗(yàn)的結(jié)果,980cm1對(duì)應(yīng)的雜質(zhì)濃度約~1018cm3,這與本實(shí)驗(yàn)通過(guò)霍爾(Hall)對(duì)樣品的結(jié)果相吻合.因?yàn)?C-SiC的折疊橫光學(xué)(FTO)模出現(xiàn)的位置與4H-SiCFTO模x(0)位置相同,都為796cm1.為此對(duì)外延膜進(jìn)行了進(jìn)一步的KOH腐蝕實(shí)驗(yàn).根據(jù)文獻(xiàn)報(bào)道[9],外延膜中的3C-SiC多晶會(huì)出現(xiàn)三角形的腐蝕坑,而在本實(shí)驗(yàn)中,只出現(xiàn)了六方和橢圓形腐蝕坑.因此,可以確認(rèn)即使是在1400℃的低生長(zhǎng)溫度下,4H-SiC同質(zhì)外延仍能結(jié)晶性非常好的單晶外延膜.2.2生長(zhǎng)速率由于外延膜與襯底的摻雜性質(zhì)不同,在SEM下會(huì)呈現(xiàn)明顯不同的襯度,因此可以通過(guò)斷面SEM準(zhǔn)確地測(cè)出外延膜的厚度,如圖3(a)插圖所示.通過(guò)這種,可以不同SiH4流量以及不同C/Si條件下外延膜的生長(zhǎng)速率.圖3(a)是不同SiH4流量時(shí)的生長(zhǎng)速率關(guān)系圖,從圖中可以看出,生長(zhǎng)速率與SiH4流量的關(guān)系可以分為兩個(gè)區(qū)域.在區(qū)域Ⅰ,生長(zhǎng)速率隨SiH4流量而線性.在這個(gè)區(qū)域,內(nèi)反應(yīng)處于非飽和狀態(tài),因此生長(zhǎng)速率由反應(yīng)物的輸運(yùn)控制,與源氣體的流量呈明顯的線性關(guān)系.在區(qū)域Ⅱ,生長(zhǎng)速率已達(dá)到的飽和值,SiH4流量并不生長(zhǎng)速率.對(duì)于本實(shí)驗(yàn)設(shè)備,在1400℃條件下飽和生長(zhǎng)速率約在6μm/h左右.圖3(b)是SiH4流量保持為0.8sccm,改變C3H8流量的不同C/Si比的生長(zhǎng)速率圖,從中可以看出,在C/Si<1.5時(shí),由于內(nèi)的C源不足,生長(zhǎng)速率遠(yuǎn)低于正常狀態(tài),生長(zhǎng)速率由C3H8流量控制.當(dāng)C/Si>1.5時(shí),生長(zhǎng)速率達(dá)到飽和狀態(tài),反應(yīng)受SiH4流量,再C3H8流量并不能生長(zhǎng)速率.由于在生長(zhǎng)溫度下SiH4和C3H8的裂解效率不同,因此飽和生長(zhǎng)速率對(duì)應(yīng)的C/Si一般都大于1.2.3表面形貌缺陷利用光學(xué)顯微鏡研究了外延膜表面的形貌缺陷.外延膜表面出現(xiàn)的典型缺陷為圖4(a)所示的三角形缺陷.圖4(a)中內(nèi)嵌插圖為三角形缺陷的SEM照片,從圖中可以看出,三角形缺陷在表面凹陷,沿<1120>生長(zhǎng)方向,在臺(tái)階流上方的頂點(diǎn)處深,其對(duì)應(yīng)的底邊通常與臺(tái)階流方向(即<1120>方向)垂直.圖4(a)~(d)為不同生長(zhǎng)速率時(shí)外延膜的表面形貌光學(xué)照片.在低的生長(zhǎng)速度下外延膜表面缺陷較少,隨著生長(zhǎng)速率的,外延膜表面的缺陷密度迅速.當(dāng)生長(zhǎng)速率達(dá)到6μm/h時(shí),表面已幾乎被缺陷覆蓋.因此,在較高生長(zhǎng)速度下,需做進(jìn)一步地研究來(lái)控制和外延膜表面缺陷密度.不同C/Si比生長(zhǎng)的外延膜表面形貌見(jiàn)圖5.在C/Si比為0.5時(shí),在外延膜表面形成大量的“逗號(hào)”狀的凹坑.通過(guò)Raman表明凹坑中存在著晶體Si,說(shuō)明在此條件下,Si源嚴(yán)重過(guò)量,表面出現(xiàn)硅液滴的不斷沉積與揮發(fā).但C/Si比大于1.5時(shí),外延膜表面形貌沒(méi)有太大區(qū)別.通過(guò)對(duì)生長(zhǎng)機(jī)制的分析,可以認(rèn)為三角形凹坑缺陷是由臺(tái)階側(cè)向的特性所決定的.按照SiC“臺(tái)階控制”生長(zhǎng)理論模型,同質(zhì)外延利用臺(tái)階的側(cè)向生長(zhǎng)以襯底的堆積順序(晶型)[10].如圖6所示,當(dāng)外延生長(zhǎng)中,在界面處出現(xiàn)(形成)一個(gè)缺陷點(diǎn)(可能是晶體缺陷、外來(lái)粒子等),就會(huì)阻礙此處臺(tái)階的側(cè)向.隨著生長(zhǎng)的不斷進(jìn)行,缺陷點(diǎn)不斷側(cè)向生長(zhǎng)的進(jìn)行,而在臺(tái)階流下方會(huì)逐漸恢復(fù)到正常的生長(zhǎng).終就會(huì)在外延膜表面留下一個(gè)臺(tái)階流上方頂點(diǎn)處凹陷下去的三角形缺陷,且三角形缺陷在臺(tái)階流上方的頂點(diǎn)深,而對(duì)應(yīng)邊與臺(tái)階流方向垂直.2.4外延膜的結(jié)晶缺陷由于襯底以及生長(zhǎng)工藝因素的影響,外延膜中通常會(huì)形成一些結(jié)晶缺陷.用510℃熔融KOH腐蝕5min后發(fā)現(xiàn),襯底表面存在著如圖7(a)所示的“貝殼狀”腐蝕坑,對(duì)應(yīng)著基平面位錯(cuò)(BPD)[11].Stahlbush等[12]研究發(fā)現(xiàn)BPDs在正向?qū)娏髯饔孟聲?huì)演變形成堆垛層錯(cuò),造成高頻二極管(PiN)器件正向?qū)妷旱钠?而露頭刃位錯(cuò)(對(duì)應(yīng)7(b)中“六邊形”腐蝕坑)對(duì)器件性能的影響則相對(duì)較小.因此,在SiC外延生長(zhǎng)中襯底中的BPDs向外延膜中延伸對(duì)器件性能有很重要的意義.圖7(b)和(c)是生長(zhǎng)速率分別為2.2和3.5μm/h時(shí)外延膜表面腐蝕后的光學(xué)照片(MP).生長(zhǎng)速率為2.2μm/h時(shí),外延膜表面主要為六邊形的腐蝕坑,即露頭刃位錯(cuò)(TEDs),說(shuō)明低生長(zhǎng)速率有利于襯底上的BPDs轉(zhuǎn)化成TEDs.當(dāng)生長(zhǎng)速度到3.5μm/h時(shí),由圖7(c)可以看到膜上的腐蝕坑密度增大,說(shuō)明生長(zhǎng)速度后,外延膜生長(zhǎng)中形成了大量的新缺陷.不同C/Si比條件生長(zhǎng)的外延膜也進(jìn)行了KOH腐蝕試驗(yàn).結(jié)果表明,低C/Si時(shí),外延膜中仍存在著B(niǎo)PDs;高C/Si時(shí),外延膜中基本不存在BPDs.說(shuō)明高C/Si比有利于外延膜中的BPDs.在較高C/Si比生長(zhǎng)條件下BPDs密度的可能是富C情況下臺(tái)階側(cè)向生長(zhǎng)所占比例,空間螺旋生長(zhǎng)所占比例,了BPDs轉(zhuǎn)化成TEDs的幾率[13-14].2.5表面缺陷的控制研究在低生長(zhǎng)速率時(shí),由于生長(zhǎng)初期界面由腐蝕(表面粒子解離為主)到生長(zhǎng)(表面粒子吸附固定)的轉(zhuǎn)變相對(duì)較平穩(wěn),因此外延膜表面缺陷較少.但在高生長(zhǎng)速率時(shí),初期界面的轉(zhuǎn)換非常,初期在界面處波動(dòng)太大,形成大量的缺陷中心,從而在后續(xù)正常生長(zhǎng)中引入大量的缺陷點(diǎn),根據(jù)三角形缺陷產(chǎn)生的機(jī)制,終在外延膜表面形成大量的三角形凹坑缺陷.從上述分析可以看出,外延膜的缺陷密度受生長(zhǎng)速率密切影響.高生長(zhǎng)速率時(shí)在生長(zhǎng)初期容易在界面上形成異常成核或者異常堆積,從而產(chǎn)生大量缺陷并延續(xù)到外延膜中,形成更多的表面缺陷.因此在高生長(zhǎng)速率的情況下,要低缺陷密度的外延膜,需要控制并在初期生長(zhǎng)界面處形成缺陷.通過(guò)在生長(zhǎng)初期逐漸源氣體流量,控制生長(zhǎng)初期時(shí)生長(zhǎng)界面的異常成核,可以在外延中缺陷形成.圖8是生長(zhǎng)速率為5.5μm/h時(shí),直接外延生長(zhǎng)和改進(jìn)后的外延膜表面的光學(xué)照片,從圖中可以看出改進(jìn)初期生長(zhǎng)條件后外延膜表面缺陷的密度極大地,了外延膜的.利用熔融KOH腐蝕對(duì)有無(wú)初期生長(zhǎng)的外延膜結(jié)晶缺陷做了對(duì)比研究.從圖9中可以看出,加入初期生長(zhǎng)的外延膜在熔融KOH腐蝕后發(fā)現(xiàn),即使在很高生長(zhǎng)速率(5.5μm/h,接近飽和生長(zhǎng)速率)條件下,腐蝕坑密度也迅速,說(shuō)明通過(guò)引入初期生長(zhǎng)能大大外延生長(zhǎng)初期缺陷的形成,從而極大高速生長(zhǎng)時(shí)外延膜中的缺陷密度,因此引入初期生長(zhǎng)是高速生長(zhǎng)外延膜的重要手段之一。


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