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● 世界zui高的分辨率、高精度、XY分辨率可達(dá)0.12微米 ●3D成像,高精度測(cè)量,Z軸zui小讀數(shù)精度0.01微米。 ●實(shí)時(shí)像的獲得和測(cè)量同時(shí)。 ●408nm激光采用 |
激光掃描共焦顯微鏡OLS3000可進(jìn)行如下檢測(cè): |
1)測(cè)量 不僅是線寬度,也能進(jìn)行圓的直徑等幾何測(cè)量。 體積、容積、表面積等3D測(cè)量;可測(cè)量透明膜厚度。 不公是線粗糙度,面粗糙度也能檢測(cè)。 |
2)3D形貌 |
3)高分辨率觀察 |