31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥
31200 系列真空閘閥有個正面的開關(guān), 這種閥門真空閘閥能夠在隨壓力下降而電力丟失的情況下保持關(guān)閉的狀態(tài). 真空閘閥直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器。*的氣缸設(shè)計使沖擊和振動減少到小. 這些真空閘閥真空腔內(nèi)沒有機械鎖,這樣此就非常有益于半導體制造和其他敏感過程要求操作時相對自由振動的. 真空閘閥所有移動的接頭都有硬軸,減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易. HVA 真空閘閥不銹鋼閥體提供了真空閥門業(yè)小的內(nèi)部表面區(qū)域. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空爐中焊接的, 確保了大的完整性. 這就消除了虛漏和缺陷部分, 使在常規(guī)狀態(tài)下焊接出現(xiàn)的閥體變形的可能小化了. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來.
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥特點
1. 硬化不銹鋼軸驅(qū)動軸和驅(qū)動銷
2. 氣動驅(qū)動
3. 不銹鋼焊接波紋管
4. 標準或定制法蘭
5. 電磁閥控制并帶有手動操控
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥技術(shù)參數(shù)
連接形式： | 標準或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 304 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN16-DN600 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《200℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動方式： | 電動氣動 |
使用壽命: | 1000000 啟閉次數(shù) |
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥應(yīng)用
這些真空閘閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環(huán),少量維修保養(yǎng)和緊閉關(guān)閉的低漏氣閥門.
31200 系列百萬周期長壽命真空閘閥部件圖
