日本精工膜厚儀SFT-9300系列
為了滿足測(cè)量微小區(qū)域及高精度的需求，安裝了“SFT”優(yōu)秀的75W高功率X射線管。 快速的對(duì)應(yīng)日益微小化的電子產(chǎn)品，更擴(kuò)大了X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的應(yīng)用。
儀器簡(jiǎn)介：日本精工膜厚儀SFT-9300系列
為了滿足測(cè)量微小區(qū)域及高精度的需求，安裝了“SFT”優(yōu)秀的75W高功率X射線管。
快速的對(duì)應(yīng)日益微小化的電子產(chǎn)品，更擴(kuò)大了X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)日本精工膜厚儀SFT-9300系列
序號(hào) | 項(xiàng) 目 | 參 數(shù) |
1 | 可測(cè)量元素 | 原子序數(shù)22(Ti)～83(Bi) |
2 | X射線源 | 小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶) |
3 | 濾波器 | 一次濾波器：Mo 二次濾波器：Co (自動(dòng)切換) |
4 | 照射方式 | 上方垂直照射方式 |
5 | 檢測(cè)器 | 比例計(jì)數(shù)管 |
6 | 準(zhǔn)直器 | 方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm |
7 | 安全性能 | 樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動(dòng)診斷功能 |
8 | 樣品圖像對(duì)焦方式 | 激光自動(dòng)對(duì)焦 |
9 | 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭 倍率光學(xué)器 鹵素?zé)粽彰?/p> |
10 | 樣品平臺(tái)大小及重量 | SFT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg SFT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg SFT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg |
11 | 重 量 | SFT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)SFT9355:130kg(不含電腦) |
12 | 修正功能 | 底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 |
13 | 測(cè)量報(bào)告書制作 | 配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動(dòng)制作測(cè)量報(bào)告書) 測(cè)量能譜與樣品圖像保存功能 |
主要特點(diǎn)：
1.75W高功率X射線管
能夠提高X射線的生產(chǎn)效率，實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，有效縮短測(cè)量時(shí)間，只需過去的1/4
2.超微小型準(zhǔn)直器
除了搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的50μm準(zhǔn)直器，還配備了測(cè)量微小部位用的15μm準(zhǔn)直器
對(duì)應(yīng)所選擇準(zhǔn)直器的實(shí)際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫面上
3.倍率式光學(xué)系
可以準(zhǔn)確地對(duì)微小部分進(jìn)行對(duì)焦，還可以對(duì)應(yīng)各測(cè)量點(diǎn)間有高低的樣品
4.實(shí)現(xiàn)了高精度自動(dòng)X-Y-Z樣品臺(tái)與圖像處理軟件的高速自動(dòng)測(cè)量
5.擁有防沖功能
6.搭載高精度樣品平臺(tái)，更可測(cè)量大型線路板(SFT9355)
7.自動(dòng)對(duì)焦功能
配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。
8.即時(shí)生成測(cè)量報(bào)告的便捷性
運(yùn)用搭載的Microsoft Word® Excel® 可以簡(jiǎn)單輕松得到制作報(bào)告。
9.搭載了高功率X射線管
10.擁有自動(dòng)測(cè)量軟件以及中心搜索軟件
11.搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件
(1).可實(shí)現(xiàn)高精度幾高效率的微小樣品檢測(cè)小樣品尺寸直徑3.5um
(2).容易決定微小測(cè)量部位
(3).影像對(duì)焦系統(tǒng)
(4).凹凸樣品的凹下部位的測(cè)量
(5).再現(xiàn)性佳
