日本精工膜厚儀SFT-9400系列
搭載有75W高功率X射線管與雙檢測(cè)器（半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管），能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測(cè)量”等鍍層厚度測(cè)量需求的高性能鍍層厚度測(cè)量?jī)x。 此外，SFT9400系列還在測(cè)量鍍層厚度的基礎(chǔ)上，新增了可對(duì)不同被測(cè)物體積材料進(jìn)行定性分析和成分分析的功能。
儀器簡(jiǎn)介：日本精工膜厚儀SFT-9400系列
SFT9000系列中高級(jí)的機(jī)型「SFT9400系列」
搭載有75W高功率X射線管與雙檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管)，能滿足“薄膜鍍層”、“合金鍍層”、“超微小面積測(cè)量”等鍍層厚度測(cè)量需求的高性能鍍層厚度測(cè)量?jī)x。
此外，SFT9400系列還在測(cè)量鍍層厚度的基礎(chǔ)上，新增了可對(duì)不同被測(cè)物體積材料進(jìn)行定性分析和成分分析的功能。
技術(shù)參數(shù)日本精工膜厚儀SFT-9400系列
序號(hào) | 項(xiàng) 目 | 參 數(shù) |
1 | 可測(cè)量元素 | 原子序數(shù)22(Ti)～83(Bi) |
2 | X射線源 | 小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶) |
3 | 濾波器 | 一次濾波器：Mo |
4 | 照射方式 | 上方垂直照射方式 |
5 | 檢測(cè)器 | 比例計(jì)數(shù)管+半導(dǎo)體檢測(cè)(無(wú)需液氮) |
6 | 準(zhǔn)直器 | 圓形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm |
7 | 安全性能 | 樣品室門(mén)自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動(dòng)診斷功能 |
8 | 樣品圖像對(duì)焦方式 | 激光自動(dòng)對(duì)焦 |
9 | 樣品觀察 | 彩色CCD攝像頭 倍率光學(xué)器 鹵素?zé)粽彰?/p> |
10 | 樣品平臺(tái)大小及承重 | SFT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg SFT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg SFT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg |
11 | 重量 | SFT9400/SFT9450:125kg (不含電腦) |
12 | 修正功能 | 底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 |
13 | 測(cè)量報(bào)告書(shū)制作 | 配備MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自動(dòng)制作測(cè)量報(bào)告書(shū)) 測(cè)量能譜與樣品圖像保存功能 |
主要特點(diǎn)：
1. 搭載有高功率X射線管及雙檢測(cè)器(半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管)
可對(duì)應(yīng)組合復(fù)雜的應(yīng)用程序，特別是可識(shí)別Ni和Cu之類能量較為接近的元素。
能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次濾波器的情況下進(jìn)行測(cè)量
對(duì)于含Br的電路板，可以不受Br的干擾對(duì)Au的鍍層厚度進(jìn)行高精度的測(cè)量
可測(cè)量0.01μm以下的超薄的Au鍍層厚度
2. 搭載塊體FP發(fā)軟件和薄膜FP法軟件
對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域
3. 適用超微小面積的測(cè)量
標(biāo)準(zhǔn)配備的15μmΦ的準(zhǔn)直器，可對(duì)超微小面積進(jìn)行測(cè)量。
4. 搭載了可3段切換的變焦距光學(xué)系統(tǒng)
5. 搭載高精度樣品平臺(tái)，更可測(cè)量大型線路板(SFT9455)
6. 自動(dòng)對(duì)焦功能
配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。
7. 搭載測(cè)試報(bào)告自動(dòng)生成軟件
