手動光譜橢偏儀價格是一種手動變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍,手動改變?nèi)肷浣?。手動spectroscopic ellipsometer光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜,比如納米厚度薄膜測量,硅晶圓薄膜厚度測量,典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙,深紫外光譜橢偏儀也非常重要。
手動光譜橢偏儀價格
易于安裝,拆卸和維護
*的光學(xué)設(shè)計
自動改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式,服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量
一鍵快速測量
全自動標(biāo)定和初始化
精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直,不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
手動光譜橢偏儀SE200BM參數(shù)
波長范圍:250-1100nm
波長分辨率:1nm
測量點大?。?-5mm可調(diào)
入射角:10-90度可調(diào)
入射角分辨率:0.01度
可測樣品大小:高達300mm 直徑
可測樣品厚度:高達20mm
測量薄膜厚度:0nm ---30um
測量時間:~1s/點
精度:~0.25%
重復(fù)精度:<1A