XP-611.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 100μmXP-611.XYZ壓電納米定位臺為三維XYZ軸運(yùn)動(dòng)壓電平移臺,采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)XYZ三軸100μm 的位移行程,柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)無摩擦、無后坐力??蛇x擇閉環(huán)版本定位精度高,是三維精密定位與掃描的理想選擇。
XP-611.XYZ三維XYZ向運(yùn)動(dòng)納米平移臺,產(chǎn)品體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長度校準(zhǔn)、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。XP-611.XYZ為壓電驅(qū)動(dòng)、無摩擦、柔性導(dǎo)向系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)納米級分辨率和毫秒的響應(yīng)時(shí)間。
XP-611.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 100μm
特性
• 三維XYZ軸運(yùn)動(dòng) • 位移行程100μm • 小體積 • 毫秒級響應(yīng)速度 • 納米級定位精度