XD770.300 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)
XD770.300 系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)
壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各 類(lèi)高精密裝備,為其提供納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制,且應(yīng)用非常廣泛。
XD770.300 系列壓電納米定位臺(tái)為 Z 軸方向的運(yùn)動(dòng)平臺(tái),行程可達(dá) 300μm,負(fù)載可達(dá)5kg,實(shí)現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升,為同時(shí)有大行程、 大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、 響應(yīng)速度快。
產(chǎn)品特點(diǎn)
Z 向運(yùn)動(dòng)
行程達(dá) 300μm
承載達(dá) 5kg
參數(shù)可定制
可定制真空版本
典型應(yīng)用
顯微掃描
光路調(diào)整
納米操控技術(shù)
激光干涉
納米光刻
生物科技
光通信
納米測(cè)量
顯微操作
納米壓印