半導(dǎo)體行業(yè)的等離子表面處理設(shè)備
1、產(chǎn)品規(guī)格 | |||
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國華GH-13MM系列等離子體表面清洗系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置表 | |||
機(jī)臺名稱 | 等離子體表面清洗系統(tǒng) | ||
機(jī)臺型號 | GH-13MM | ||
機(jī)臺用途 | 5種氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，可用于高頻板PTFE類、軟硬結(jié)合板、多層軟板等除膠渣等制造工藝，柔性板化金前后清洗、打線邦定前清洗等處理，SMT前清洗等 | ||
技術(shù)參數(shù) | 備注 | ||
1 | 機(jī)臺整機(jī)規(guī)格 | 2000（W）*1300（D）*1960（H） |
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2 | 真空室規(guī)格 | 進(jìn)口鋁 1030（W）*910（D)*930（H） |
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3 | 電極板規(guī)格 | 進(jìn)口鋁900(W)*600（D) |
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4 | 單層有效處理區(qū)尺寸 | 814（W)*560(D) |
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5 | 真空電極結(jié)構(gòu) | 水平電極板13層, 處理12層工件 |
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6 | 真空泵系統(tǒng) | 漢中泵組 |
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7 | PLC自動控制系統(tǒng)硬件 | OMRON/SIEMENS-PLC及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換、溫度控制） | 日本歐姆龍/西門子 |
8 | 人機(jī)工控系統(tǒng) | 觸摸屏式全中文界面 |
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9 | 變頻控制系統(tǒng) | PID閉環(huán)控制，真空度可維持 |
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10 | 機(jī)臺冷卻系統(tǒng) | 采用內(nèi)部獨(dú)立中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng) |
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11 | 溫度控制系統(tǒng) | 日本歐姆龍OMRON溫度傳感模塊，PID閉環(huán)控制，溫度可控 |
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12 | 冰水機(jī) | 5.0P雙泵 |
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13 | 真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻式真空計(jì) | 日本愛發(fā)科 |
14 | 真空供氣系統(tǒng) | Ф6品牌軟管+不銹鋼鎖套管路 | 進(jìn)口優(yōu)質(zhì)不銹鋼 |
15 | 真空排氣系統(tǒng) | 全不銹鋼管路+波紋管 | 進(jìn)口優(yōu)質(zhì)不銹鋼 |
16 | 破真空系統(tǒng) | 倒計(jì)時自動開合啟動 |
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17 | 氣體控制系統(tǒng) | 電磁閥控制 | 日本CKD |
18 | 氣體計(jì)量系統(tǒng) | 3路精確質(zhì)量流量控制計(jì)：MFC | SevenStar |
19 | 等離子發(fā)生器 | 額定功率：0-20KW，全自動匹配（國華自主研發(fā)） |
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20 | 其他組件 | 國內(nèi)外品牌元器件 |
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21 | 機(jī)臺總重 | 約2500kg |
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22 | 額定功率 | 額定功率 35KW |
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23 | 機(jī)臺供電 | AC-380V-50Hz，三相五線 |
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24 | 腔體材質(zhì) | 進(jìn)口鋁 |
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25 | 電極板數(shù)量 | 13層處理區(qū)12層 |
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26 | 單次處理時間 | 10-60分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征，時間設(shè)定不同） |
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27 | 工作真空度 | 0.15～0.3Torr （可根據(jù)要求設(shè)定，可恒定真空度） |
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28 | 真空泵極限壓力 | 5pa以下 |
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29 | 抽真空時間 | 抽到工作真空≤180秒 |
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30 | 破真空時間 | ≤60秒 |
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31 | 供氣方式 | 電磁閥式 |
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32 | 氣體入口及流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍 | 5路獨(dú)立MFC，N2和CF4，0-1000sccm（毫升/分鐘）, O2,0-3000sccm（毫升/分鐘） |
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33 | 溫度控制調(diào)節(jié)范圍 | 5匹速冷，30-85℃可調(diào) |
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34 | 操作方式 | 人工取放工件，一鍵啟動自動控制 |
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半導(dǎo)體行業(yè)的等離子表面處理設(shè)備
我們在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)一些橡膠塑料件在進(jìn)行表面連接的時候會出現(xiàn)粘接困難的問題，這是因?yàn)榫郾?、PTFE等橡膠塑料材料是沒有極性的，這些材料在未經(jīng)過表面處理的狀態(tài)下進(jìn)行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至無法進(jìn)行。有些工藝用一些化學(xué)藥劑對這些橡塑表面進(jìn)行處理，這樣能改變材料的粘接效果，但這種方法不易掌握，化學(xué)藥劑本身具有毒性，操作非常麻煩，成本也較高，而且化學(xué)藥劑對橡塑材料原有的優(yōu)良性能也有影響。
利用等離子技術(shù)對這些材料進(jìn)行表面處理，在高速高能量的等離子體的轟擊下，這些材料結(jié)構(gòu)表面得以大化，同時在材料表面形成一個活性層，這樣橡膠、塑料就能夠進(jìn)行印刷、粘合、涂覆等操作。應(yīng)用等離子技術(shù)對橡塑表面處理，等離子清洗機(jī)操作簡單，處理前后沒有有害物質(zhì)產(chǎn)生，處理效果好，效率高，運(yùn)行成本低。
等離子清洗機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域包括橡膠、復(fù)合材料、玻璃、布料、金屬等，涉及各行各業(yè)，這篇文章中我們主要介紹其在橡膠、塑料領(lǐng)域一些行業(yè)的具體應(yīng)用。
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子清洗機(jī)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子清洗機(jī)是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
此項(xiàng)技術(shù)作為一種新型的材料表面改性方法，等離子表面處理設(shè)備因效果好被廣泛用各領(lǐng)域中，下面通幾個方面給大家介紹：
金屬表面去油及清洗：
金屬表面常常會有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子表面處理設(shè)備來得到*潔凈和無氧化層的表面。
使用這種等離子技術(shù)，可以根據(jù)特定的工藝需求，高效地對材料進(jìn)行表面預(yù)處理。 等離子處理機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域 等離子表面處理技術(shù)可以和多種不同的后續(xù)加工工藝相配合，其中典型的后續(xù)加工包括印刷、粘接、涂裝。等離子技術(shù)幾乎適用各種領(lǐng)域的工業(yè)應(yīng)用，能為不同材料或者復(fù)合材料提供后續(xù)的粘接、涂裝、印刷前處理，使兩種不同材料有效而又可靠的結(jié)合在一起。
等離子體能量所提供的超精細(xì)清洗去除所有顆粒。塑料外殼上具有更高的表面張力，可顯著改善涂層分散和粘接力，從而可以使用水性油漆。生產(chǎn)過程的廢品率可大大降低。（等離子表面處理設(shè)備）可將等離子技術(shù)集成到現(xiàn)有的涂裝生產(chǎn)線中。
電子工業(yè)中,等離子清洗處理工藝是一項(xiàng)能夠?qū)崿F(xiàn)成本效益和可靠工藝的關(guān)鍵技術(shù)，給印刷電路板印上導(dǎo)電涂層之前，*行等離子活化處理，（等離子表面處理設(shè)備）微細(xì)清洗和除靜電處理，可以確保涂層牢固的附著，在芯片封裝領(lǐng)域采用表面等離子清洗技術(shù)，就不再需要真空腔體。（等離子表面處理設(shè)備）先要對塑料視窗部分進(jìn)行等離子處理，由于采用等離子技術(shù)，使材料的表面性能提高，因此涂層分布更加均勻，這不僅造成了無懈可擊的產(chǎn)品外觀，還大大降低了生產(chǎn)過程中的廢品率。
等離子表面處理設(shè)備進(jìn)行處理能夠?yàn)槲覀儙砟男┲饕獌?yōu)勢？技術(shù)適用于在線工藝，例如，在對連續(xù)型型材、管件進(jìn)行包護(hù)、膠粘，粘結(jié)或者涂層之前進(jìn)行等離子清洗。該項(xiàng)技術(shù)適合用于機(jī)器人，也就是說，借助機(jī)器人可用等離子射流對 表面進(jìn)行掃描。通過 等離子表面處理設(shè)備 可以進(jìn)行局部的表面清洗，不會接觸其余表面部分，例如，在焊線（引線焊接）前對 Al, Au 和 Cu 材質(zhì)的焊盤進(jìn)行清洗，無需接觸表面的其余部分。昆山國華電子提供等離子技術(shù)的咨詢；等離子處理系統(tǒng)設(shè)備、電子產(chǎn)品、機(jī)電設(shè)備、機(jī)械設(shè)備、線路板、工業(yè)自動化設(shè)備、電子元器件、儀器儀表的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、技術(shù)服務(wù)和維修服務(wù)；光電產(chǎn)品、光電材料、電子產(chǎn)品及零部件、LED產(chǎn)品、五金交電、金屬材料、辦公用品、勞保用品、非危險性化工材料及產(chǎn)品的銷售；機(jī)電工程、土木工程；軟件設(shè)計(jì)、研發(fā)；貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動）
在電子產(chǎn)品中柔性電路板（FPC）被廣泛使用，柔性電路板是以聚酰亞胺或聚酯薄膜為基材制成的一種具有高度可靠性的可撓性印刷電路板，具有配線密度高、重量輕、厚度薄和彎折性好的特點(diǎn)，F(xiàn)PC柔性電路板的特點(diǎn)是輕薄短小,因此也受到了多數(shù)智能電子產(chǎn)品的***選擇，柔性線路板在使用過程中也很容易產(chǎn)生打、折、傷痕等操作，機(jī)械強(qiáng)度小，易龜裂。所以貼合補(bǔ)強(qiáng)材料(stiffener)的目的是為了加強(qiáng)FPC柔性線路板的機(jī)械強(qiáng)度,方便PCB表面裝零件等,柔性電路板所用到的補(bǔ)強(qiáng)膠片類型多種,根據(jù)制品使用要求不同而定,有鋼片、FR4、PI和鋁箔等，解決FPC的柔韌度特性，提高插接部位的強(qiáng)度，方便產(chǎn)品的整體組裝。FPC鋼片補(bǔ)強(qiáng)平整性好，硬度強(qiáng).一般用于BGA（攝像頭類）類型，便于焊接. 還有的鋼片需要接地性能，需要在FPC地線上開窗以及連接FPC與鋼片的需為熱壓導(dǎo)電膠. 增加厚度，硬度。
