AERA品牌FC-7800CD進(jìn)口氣體質(zhì)量流量計(jì)
響應(yīng)速度快:小于2秒 的可靠性:使用一年以上,零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5% 易于集成:標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸 出眾的效果:高品質(zhì)膜層與蝕刻特性 特性 非金屬密封 VCR連接 量程范圍從10SCCM到150SLM 常閉或常開式電磁閥 允許大清洗流量:高達(dá)大校準(zhǔn)值的100倍 漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
FC-7700系列產(chǎn)品采用技術(shù)設(shè)計(jì),工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其*之處包括:采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比,F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后,避免了出現(xiàn)過沖,達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒--在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是較快的。 的可靠性: 由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、少元器件的設(shè)計(jì)理念,這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場(chǎng)的干擾,滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求,并具有同類產(chǎn)品中的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性--使用超過一年,零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產(chǎn)品中,僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。 易于集成: 替換其它品牌,即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢(shì),且不會(huì)遇到安裝方面的麻煩。特定型號(hào)的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。 出眾的效果: FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的*性,同時(shí)還有高度的可重復(fù)性。 型號(hào)參數(shù): AERA品牌FC-7800CD進(jìn)口氣體質(zhì)量流量計(jì)
類別 | FC-7700、7700C、7700CD、7700CU | FC-7710、7710C、7710CD、7710CU | FC-7720、7720C、7720CD | 滿量程范圍 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm | 20到50slm | 響應(yīng)時(shí)間 | 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒 | 到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒 | 精度 | 滿量程±1%范圍內(nèi) | 滿量程±2%范圍內(nèi) | 線性度 | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±0.5%范圍內(nèi) | 滿量程±1%范圍內(nèi) | 滿量程±1%范圍內(nèi) | 重復(fù)精度 | 滿量程±0.2%范圍內(nèi) | 漏率 | 大值1×10-6 atm-cc/秒(氦) | 控制范圍 | 滿量程的5到 | 壓差 | 7至40 psi | 10至40 psi(517至2069托) | 21至40 psi(1086至2069托) | (362至2069托) | 14至40 psi(724至2069托) | 正常工作壓力 | 50 psi(2586托) | 大入口壓力 | 大值150 psi(7740托) | 溫度范圍 | 5至45℃ |
注:可根據(jù)不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數(shù)字型的FC-D770系列,全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。 1% of set point(25%- FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 大工作壓力:70 psig(490 kPag) |
熱式氣體流量流量計(jì)是利用傳熱原理檢測(cè)流量的儀表,即根據(jù)流動(dòng)中的流體與熱源(流體中外加熱的物體或測(cè)量管外加熱體)之間熱量交換關(guān)系進(jìn)行測(cè)量;主要測(cè)量氣體;熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)主要分兩大類,即熱分布式和浸入式(或插入式)。
1、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
(1)熱分布式質(zhì)量流量計(jì)的主要特點(diǎn):直接測(cè)量質(zhì)量流量無需溫壓補(bǔ)償;非接觸式,無活動(dòng)部件,無阻流件,壓力損失小,可靠性高;可測(cè)量低流速微小氣體流量,低5mL/min(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài));要求氣體介質(zhì)干燥潔凈,不含水分、油等雜志;分流型可獲線性特性,可用于測(cè)量大、中氣壓流量,使用時(shí)要保證分流溫度;動(dòng)態(tài)響應(yīng)慢,時(shí)間常數(shù)5s左右。
(2)浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)的主要特點(diǎn):直接測(cè)量質(zhì)量流量無需溫壓補(bǔ)償;無活動(dòng)部件,可靠性高;適用于大口徑、非圓截面管道、現(xiàn)場(chǎng)空間狹窄處測(cè)量(插入式);檢測(cè)作為帶不銹鋼外殼的鉑電阻傳感器,對(duì)于其他中的粉塵、固體顆粒、油分、水分不敏感。插入式可以不斷流取出維修更換。可用于測(cè)量臟污流體測(cè)量。