Pα-HMB精密氣體減壓器。單級(jí)膜片式設(shè)計(jì);中等壓力輸入,低壓大流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量1000L/min。
工作條件:
進(jìn)口壓力 | 15MPa |
出口壓力 | 0~0.8MPa |
CV值 | 0.65 |
爆破壓力 | 30MPa |
原壓變動(dòng) | —— |
溫度 | -10~+70℃ |
外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
安裝方式 | 后面板安裝 |
產(chǎn)品特點(diǎn):
柔性膜片結(jié)構(gòu),調(diào)節(jié)順暢,輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小
單級(jí)式減壓
進(jìn)口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器,保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料:
零部件名稱 | Part | 材料(Materials) |
閥體 | Body | SUS316L |
后蓋 | Bonnet | SUS316L |
膜片 | Diaphragm | SUS316L |
閥座 | Seat Retainer | SUS316L |
密封墊 | Seat | PCTFE |