Pα-1H精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計(jì)；中等壓力輸入，低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量60L/min。
工作條件：
| 進(jìn)口壓力 | 15MPa |
| 出口壓力 | 0～0.99MPa |
| CV值 | 0.02 |
| 爆破壓力 | 35MPa |
| 原壓變動(dòng) | 0.00021MPa （入口壓力變化0.1MPa時(shí)，出口壓力的變化量） |
| 溫度 | -10～+70℃ |
| 外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
| 安裝方式 | 前面板安裝，后面板安裝 |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
柔性膜片結(jié)構(gòu)，手柄特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，調(diào)節(jié)順暢，輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小
單級式減壓，死體積小，便于吹掃
進(jìn)口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理，增加腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器，保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料：
| 零部件名稱 | Part | 材料（Materials） |
| 后蓋 | Bonnet | SUS316 |
| 閥體 | Body | SUS316L |
| 閥針 | Poppet | SUS316L |
| 膜片 | Diaphragm | SUS316L |
| 密封墊 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |
