二維模塊式工作臺采用模塊化設(shè)計,可將一維微動臺通過對應(yīng)的連接板自由組合成具有沿X軸方向和Y軸方向運動的微動臺,行程從10μm至200μm。二維模塊式工作臺可集成電阻應(yīng)變片以實現(xiàn)高精度閉環(huán)控制,并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動臺
主要參數(shù)
運動自由度 | 位移量 (μm±10%) | 組成模塊 | 尺寸 A(mm) | 尺寸 B(mm) | 尺寸 C(mm) | |
MPT-2MNL010 | X 、 Y | 10×10 | MPT-1DNL010 | 60 | 50 | 51 |
MPT-2MNL025 | X 、 Y | 25×25 | MPT-1DNL025 | 80 | 70 | 54 |
MPT-2MNL050 | X 、 Y | 50×50 | MPT-1ANL050 | 100 | 90 | 58 |
MPT-2MNL100 | X 、 Y | 100×100 | MPT-1ANL100 | 120 | 110 | 54 |
MPT-2MNL200 | X 、 Y | 200×200 | MPT-1ANL200 | 150 | 140 | 54 |
MPT-2MRL010 | X 、 Y | 10×10 | MPT-1DRL010 | 60 | 50 | 51 |
MPT-2MRL025 | X 、 Y | 25×25 | MPT-1DRL025 | 80 | 70 | 54 |
MPT-2MRL050 | X 、 Y | 50×50 | MPT-1DRL050 | 100 | 90 | 58 |
MPT-2MRL100 | X 、 Y | 100×100 | MPT-1ARL100 | 120 | 110 | 54 |
MPT-2MRL200 | X 、 Y | 200×200 | MPT-1ARL200 | 150 | 140 | 54 |
開環(huán)工作臺*匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺*匹配電源型號:PPC-2CR0150