整閥低泄漏熱式氣體質(zhì)量流量控制器簡要描述：用于對中大流量氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制，具有精度高，穩(wěn)定性好，模擬電路，可靠性高，安裝簡單，操作方便。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

 整閥低泄漏熱式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
  精度高、穩(wěn)定性好、模擬電路、響應(yīng)速度快
整閥低泄漏熱式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品用途：廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

整閥低泄漏熱式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號    LF420-BC    LF420-BM
滿量程范圍    SLM    30～40，50，100，150，200, 300
量程比    控制器50:1    流量計100:1
精度    ±2.0%F.S
線性    ±0.5%F.S
重復(fù)性    ±0.2%F.S
閥門類型    常閉閥
響應(yīng)時間    ≤1S-3S
工作壓差    0.1...0.5Mpa
大耐壓    3MPa
工作環(huán)境溫度    5...45℃
泄漏率    1×10-8Pa.m3/s
通信信號    0-5V / 4-20MA
供電方式    24VDC（250mA）
密封材料    丁晴橡膠  氟橡膠
接頭尺寸    3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”
電器接頭    DB9針
熱式氣體質(zhì)量流量計即Mass Flow Meter（縮寫為MFM），它是氣體流量計量中新型儀表，區(qū)別于其它氣體流量計不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質(zhì)量流量，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比。