過程及工藝監(jiān)測(cè)質(zhì)譜儀HPA/SPM220
HPA220是一款高壓質(zhì)譜儀,其進(jìn)樣壓力范圍從真空到50mbar.
- HPA220具有多個(gè)數(shù)字量或者模擬量通訊接口
- 結(jié)構(gòu)緊湊,非常易于集成
- 通過一臺(tái)PC機(jī)即可方便的操作
過程及工藝監(jiān)測(cè)質(zhì)譜儀HPA/SPM220
技術(shù)參數(shù):
質(zhì)量數(shù)(可選):1-100amu, 1-200amu,1-300amu
小檢測(cè)極限:1X10-14 hPa
進(jìn)樣壓力(可選):1mbar, 8mbar, 50mbar
重量:15Kg
SPM 220 優(yōu)勢(shì):
鍍膜工藝監(jiān)測(cè)器離子源,適用于瞬時(shí)過程監(jiān)測(cè)
對(duì)氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優(yōu)秀檢測(cè)極限
對(duì)測(cè)量結(jié)果的小化背景影響
壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
緊湊設(shè)計(jì),易于系統(tǒng)集成
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出
技術(shù)參數(shù):
質(zhì)量數(shù)(可選):1-100amu, 1-200amu
檢測(cè)極限(氬中):二氧化碳< 100 ppb
檢測(cè)極限(氬中):氧氣< 100 ppb
檢測(cè)極限(氬中):水蒸氣< 500 ppb or < 6000 ppb
進(jìn)樣壓力(可選):1mbar, 8mbar, 10mbar
重量:13Kg