QMS系列材料放氣分析系統(tǒng)
是為了實現(xiàn)對特定材料/產(chǎn)品在特定環(huán)境下的放氣速率測試而開發(fā)的產(chǎn)品。
QMS系列材料放氣分析系統(tǒng)
是為了實現(xiàn)對特定材料/產(chǎn)品在特定環(huán)境下的放氣速率測試而開發(fā)的產(chǎn)品。
QMS系列材料放氣分析系統(tǒng)
例如：
對空間科學(xué)載荷儀器中電子元器件、電路板材料、運(yùn)動部件潤滑材料以及其他結(jié)構(gòu)性材料在超高真空環(huán)境中的材料放氣率進(jìn)行測試，主要用于保證載荷有效運(yùn)行，減少器件和材料放氣累積對如光學(xué)系統(tǒng)的污染。
對半導(dǎo)體器件、光刻膠等在特定環(huán)境下的放氣率測試，用于工藝開發(fā)、產(chǎn)品質(zhì)量評估等。
依據(jù)樣品尺度、真空度/溫度、測試氣體質(zhì)量數(shù)等要求，QMS具有一系列對應(yīng)產(chǎn)品，亦可以對操作軟件進(jìn)行一定程度的定制。
