顯示器用吸塵器 USG-401S,HUGLE藤宮
顯示器用吸塵器 USG-401S,HUGLE藤宮
USG-401S(N2),有機(jī)(OLED)用吸塵器,HUGLE藤宮
說明:
希爾文電子提供的有機(jī)EL顯示器用吸塵器,可以除去在密封艙內(nèi)的氮環(huán)境下有機(jī)蒸的玻璃表面的異物。
已經(jīng)在多個(gè)有機(jī)EL封止(ECAPSBATION)工程中使用了很高的評價(jià)。
規(guī)格:
在氮環(huán)境下實(shí)現(xiàn)了在液晶制造線中具有實(shí)績的干洗技術(shù)。為您提供一個(gè)新設(shè)計(jì)的布盧瓦/過濾器單元和溫度控制系統(tǒng),以維持在昌巴內(nèi)的氮環(huán)境的狀態(tài)下進(jìn)行清潔處理。
USG-402S,基板用雙面清潔器(節(jié)能型),HUGLE藤宮
說明:
是從小型基板到第10代液晶玻璃的對應(yīng)的非接觸式雙面干爽器。在平面面板顯示器(液晶,有機(jī)EL,等離子)的陣列和單元格行程中附著的分區(qū),可以在表里同時(shí)清洗。適合用心儀傳送的FPD、OLED、太陽光發(fā)電面板的雙面清洗。
介紹:
在大型顯示器的需求擴(kuò)大期,面板制造廠正在推進(jìn)由母玻璃的大型化提高生產(chǎn)性。本公司利用今天為止培養(yǎng)的干洗技術(shù),為今后的大型面板的生產(chǎn)性的提高做出貢獻(xiàn)。(G12對應(yīng)機(jī)開發(fā)中)
可消除的1.6μm的微粒
規(guī)格:
実験裝置 | 弊社內(nèi)クリーンルーム(クラス100)內(nèi)搬送裝置 |
除塵対象 | 液晶用ガラス基板(370×470×0.7mm Cr膜) |
散布粒子 | 液晶用スペーサー(ミクロパール1.6?3?5?10μm)、ガラス粉塵 |
ヘッド吐出圧力 | 13kPa |
基板ギャップ | 1.5mm |
搬送速度 | 100?200?300mm/sec |
評価機(jī)器 | CCDカメラ |