相當于0-3 sccm到0-3000 sccm氮氣(N2)的范圍
在SEMI(半導體設備和材料協(xié)會)標準壓力和溫度(0oC和101kPa)條件下測得
注:滿程流量范圍大于50 sccm
性能:校準后為滿量程±1%,大于20slpm時為滿量程±1.5%。
可重復性:0.25%
控制范圍:50:1
安裝狀態(tài)靈感度:復零后,比精確度誤差不到±0.5%量程。
溫度敏感度:零點:小于±0.075%量程每攝氏度
量程:比初校準刻度小±1.0%量程(在10-50攝氏度)
壓力敏感度:±0.03%每psi到200psig(N2)
輸出電壓:0-5伏直流(200K歐姆的輸出電阻)
輸出信號:輸出0-5伏直流到2000歐姆或更高的負荷
輸出5±0.1伏直流(參考),大負荷2000歐姆
大操作壓力:1500psig ;5-50psid壓損(小壓損根據(jù)氣體和周圍環(huán)境具體而定)
溫度、外界/氣體:41-149oF(5-65oC)
*泄漏,外界:1×10-9cc/s
功率要求:常閉閥(或常開閥/流量≤2.5slpm)
3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常開閥/流量>2.5slpm
10.5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
構(gòu)造材質(zhì):
標準接液部分采用不銹鋼材質(zhì),可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N
連接:
硬件連接:標準9/16-18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok),可選:VCO或VCR
電氣連接:卡連接器(鍍金)或D型連接器(DA-15P)