BROOKS流量控制器運(yùn)用熱動力學(xué)原理,一個(gè)有精確電源的加熱器為內(nèi)有連續(xù)穩(wěn)定氣流的
傳感器套管的中部加熱,在同一套管距加熱器等距的地方各有一個(gè)電阻性的溫度測量元件。
沒有氣流時(shí),到達(dá)兩個(gè)溫度測量元件的熱量是相等的:有氣流時(shí)則氣流帶走熱量,兩溫度
測量元件就有了溫度差異,溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電
路來反映,然后放大裝置,以0-5V的輸出電壓輸出到控制電路。
◎在無流量的情況下,熱量會均勻的分散在每個(gè)溫度元件中,隨著流量的增加,流體帶著
熱量從上游(該處溫度為T1)到達(dá)下游,則下游溫度上升(該處溫度為T2),不同的溫
度上升通過兩處元件顯示,這種差異均衡的計(jì)量了氣流或流速,電路顯示溫度的不同而
放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號??刂齐娐繁容^設(shè)定要求值和輸出流量信號,然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2%時(shí),控制閥*關(guān)閉,控制閥由它的控制
電路控制能*打開或關(guān)閉。◎
控制電路比較設(shè)定要求值和輸出流量信號,然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2%時(shí),
控制閥*關(guān)閉,控制閥由它的控制電路控制能*打開或關(guān)閉。