壓電陶瓷納米位移臺(tái)在提供*精度位移控制的同時(shí)，保證了優(yōu)異而*的穩(wěn)定性能，適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負(fù)載可達(dá)幾公斤，行程達(dá)到50mm，小步長(zhǎng)50nm，配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能。
壓電陶瓷納米位移臺(tái)應(yīng)用實(shí)例：
AFM顯微鏡，激光校準(zhǔn)，低溫操作應(yīng)用，微型加工技術(shù)，半導(dǎo)體，掃描應(yīng)用
特點(diǎn)：
+ 在厘米級(jí)的行程范圍內(nèi)，達(dá)到納米級(jí)高精度位移控制
+ *的機(jī)械穩(wěn)定性
+ 位移驅(qū)動(dòng)電壓<45V，無(wú)需高壓屏蔽
+ 10nm位移精度，+/-200nm位移重復(fù)性，<0.01%精度
+ 特殊材質(zhì)，兼容各種光學(xué)實(shí)驗(yàn)環(huán)境和超高真空環(huán)境
+ 快速樣品更換裝置
產(chǎn)品規(guī)格和型號(hào)參數(shù)
行程范圍：125-750mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：無(wú)刷直線電機(jī)
大加速度： 取決于負(fù)載
大速度：3米/秒（無(wú)負(fù)載時(shí)）
大峰值力：800N
大連續(xù)力：160N
大負(fù)荷：XY平臺(tái)50Kg，Z軸25kg
反饋系統(tǒng)：非接觸式直線編碼器系統(tǒng)
TTL分辨率：5 μm, 1μm, 0.5μm,0.25μm, 0.2μm,100 nm & 50 nm
重復(fù)精度：5x分辨率
構(gòu)造：鋁合金主體，硬質(zhì)灰色陽(yáng)極鍍膜
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運(yùn)動(dòng)控制中國(guó)制造的品牌“的目標(biāo)，力求*國(guó)內(nèi)技術(shù)空白，打破國(guó)外對(duì)中國(guó)的技術(shù)壁壘和國(guó)外產(chǎn)品壟斷中國(guó)市場(chǎng)的局面，為中國(guó)智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運(yùn)動(dòng)和測(cè)控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)
