集成式壓電驅(qū)動器無摩擦,柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)使得這一系列產(chǎn)品可實現(xiàn)納米級的分辨率,同時可選備應(yīng)變計或電容位置傳感器,可實現(xiàn)非常準(zhǔn)確的重復(fù)性.
集成式壓電驅(qū)動器特點:
不同轉(zhuǎn)子長度導(dǎo)致不同行程
分辨率達(dá)0.03納米
不工作時自鎖,無熱量產(chǎn)生
無磁性和真空兼容工作原理
三種技術(shù):NEXLINE、NEXACT和PICMAWalk
從OEM電機(jī)到多軸定位系統(tǒng)的集成度
技術(shù)參數(shù):
1600Vp-p單通道(差分輸出)
• 輸出電壓1600Vp-p (±800V)
• 輸出電流40mA
• 功率32W
• 帶寬(-3dB)DC~150KHz
• 壓擺率200V/μs
• 低失真
• 增益數(shù)控0~240(0.1step)可調(diào)
• 輸入阻抗50Ω/5KΩ可調(diào)
• 一鍵保存設(shè)置(Save鍵
目前,多層式驅(qū)動器制作時,通常是采用傳統(tǒng)流延成膜多層共燒制備工藝,包括以下步驟
(1)流延成型,其是在原料中加入有機(jī)溶劑后制作漿料,并將漿料流延得到膜層;
(2)烘干,即對流延得到的膜層進(jìn)行烘干;
(3)疊加,將烘干后的膜層鍍上銀電極,并進(jìn)行疊加;
(4)共燒,即將疊加后得到的多層膜高溫煅燒,得到多層結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動器?,F(xiàn)有采用傳統(tǒng)流延成膜多層共燒制備工藝中,需要使用有機(jī)溶劑,而有機(jī)溶劑通常有毒;共燒過程中,膜層上鍍的銀電極容易擴(kuò)散,導(dǎo)致制作后的壓電驅(qū)動器性能下降、退化;同時,現(xiàn)有制備工藝流程復(fù)雜,安全性較差,制作成本較高。此外,現(xiàn)有技術(shù)也有通過采用環(huán)氧樹脂黏貼方式得到壓電驅(qū)動器。
綜上,現(xiàn)有壓電驅(qū)動器的多層共燒制備工藝中,多層共燒過程中易導(dǎo)致膜層上銀電極擴(kuò)散,壓電陶瓷層之間易產(chǎn)生蠕變,使得壓電驅(qū)動器的能量轉(zhuǎn)換效率低,位移損失較大,壓電驅(qū)動器性能較差;此外,現(xiàn)有壓電驅(qū)動器制備工藝復(fù)雜,質(zhì)量不易控制。而現(xiàn)有采用環(huán)氧樹脂方式制備壓電驅(qū)動器時,制備得到的壓電驅(qū)動器無法適用于高溫環(huán)境工作。