芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點(diǎn)，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)滿行程0.04%的 重復(fù)定位精度。
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺N12壓電掃描臺特性
• 大位移110μm
• 大承載0.7kg
• 臺體中心方形通孔
• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選
1~3維掃描臺
N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號。
閉環(huán)傳感定位精度高
N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實(shí)時檢測 并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調(diào)整電壓修正位移，從 而實(shí)現(xiàn)高精度定位。
N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應(yīng)用 于光學(xué)顯微成像，實(shí)現(xiàn)XYZ軸精密掃描。
小體積、大位移、中心通孔
N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達(dá)110μm。 *的平行運(yùn)動學(xué)設(shè)計(jì)原理，使得平臺可以實(shí)現(xiàn)XYZ軸高速 精密運(yùn)動。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。
該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優(yōu)異的直線性使其成為光學(xué)、激光領(lǐng)域納米級精密定位應(yīng)用。
N12壓電掃描臺典型應(yīng)用
掃描顯微
• 共焦顯微
• 晶圓定位
• 表面測量
• 圖像處理與穩(wěn)定
• 半導(dǎo)體測試
N12壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：
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型號 |
尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) |
N12.X100S N12.X100K |
N12.Z100S N12.Z100K |
N12.XY100S N12.XY100K |
N12.XZ100S N12.XZ100K |
N12.XYZ100S N12.XYZ100K |
單位 |
| 運(yùn)動自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z |
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| 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 80 | 80 | 80/軸 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V） | 110 | 110 | 110/軸 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
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| 通孔尺寸 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | mm | |
| 閉/開環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | |
| 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.04/- | 0.04/- | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <10 | <10 | <15 | <15 | <20 | µrad | |
| 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 25/8 | 20/4 | N | |
| 運(yùn)動方向剛度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Z0.25 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 230 | 200 | X170/Y200 | X200/Z150 | X200/Y150/Z120 | Hz±20% | |
| 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | |
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閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 | 65 | 55 | 50 | 30 |
Hz±20% |
| 行程 | 8 | 8 | 7 | 6 | 4 | ||
| 大承載 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.5 | kg | |
| 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
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| 重量 | 240 | 240 | 290 | 290 | 350 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
