芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái) P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺(tái)為一維Z軸微動(dòng)平臺(tái)，它的移動(dòng)范圍可達(dá)210µm，定位分辨率可達(dá)3nm。
P79平臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié)，階躍時(shí)間達(dá)毫秒量級(jí)。主要用于配套宏動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)掃描平臺(tái)或壓電馬達(dá)平臺(tái)使用，在宏動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后，再通過(guò)P79壓電掃描臺(tái)進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整，定位精度達(dá)納米量級(jí)。
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)
P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺(tái)為一維Z軸微動(dòng)平臺(tái)，它的移動(dòng)范圍可達(dá)210µm，定位分辨率可達(dá)3nm。
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)P79平臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié)，階躍時(shí)間達(dá)毫秒量級(jí)。主要用于配套宏動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)掃描平臺(tái)或壓電馬達(dá)平臺(tái)使用，在宏動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后，再通過(guò)P79壓電掃描臺(tái)進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整，定位精度達(dá)納米量級(jí)。
兩款規(guī)格型號(hào)、開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選
P79系列Z向掃描臺(tái)具有兩種Z向行程范圍可供選擇，分別為110μm及210μm，可根據(jù)精確調(diào)整的運(yùn)動(dòng)范圍進(jìn)行選擇。
另外，P79系統(tǒng)可提供開(kāi)環(huán)及閉環(huán)版本。開(kāi)環(huán)版本定位速度更快，且分辨率更高；對(duì)于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，裝配在平臺(tái)的位置，提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號(hào)給壓電控制器。全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移，確保了定位精度。
特性
• 一維Z向運(yùn)動(dòng)，zui大行程210μm • zui大承載2kg • 通孔尺寸：128.5×86.5mm
• 開(kāi)環(huán)、閉環(huán)可選 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高
| 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)，行程范圍大 |
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| 大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、超精密導(dǎo)向機(jī)構(gòu) | 頻率負(fù)載曲線 | 表面絕緣壓電陶瓷提供長(zhǎng)使用壽命 | |
| P79系列壓電掃描臺(tái)具有方形通孔，通孔尺寸為128.5×86.5mm，這種大通孔設(shè)計(jì)主要是為了滿足各種樣品夾持結(jié)構(gòu)，如多井控制盤。 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)以及無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)使其具有超快的響應(yīng)速度，Z軸步進(jìn)速度和穩(wěn)定時(shí)間僅為馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的1/20，大大提高了成像捕獲能力和生產(chǎn)能力。 |
| 壓電掃描臺(tái)采用高*性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷，陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力非常高且無(wú)漏電現(xiàn)象。
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應(yīng)用
• 熒光顯微 • 共焦顯微 • 精密定位/樣品檢測(cè) •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計(jì)量 • 自動(dòng)聚焦系統(tǒng) • 表面檢測(cè)/3D成像 • 光學(xué)計(jì)量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物科技
