上海洪柯自動(dòng)化儀表有限公司推出的D系列氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass flow meter，簡(jiǎn)稱MFM）/氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡(jiǎn)稱MFC）用于測(cè)量/控制微小流量氣體流量。微流量氣體流量計(jì)/控制器zui小量程為0-2SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘)，zui大量程為0-2000SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)，具有精度高、重復(fù)性好、量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)，在半導(dǎo)體集成電路、特種材料、石化、醫(yī)藥、真空等領(lǐng)域,廣泛用于鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體采樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器，也可以用在各類實(shí)驗(yàn)室作為流量檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)流量計(jì)。
氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC工作原理
MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構(gòu)成，用于測(cè)量潔凈氣體流量。
氣體質(zhì)量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個(gè)部件外，還有一個(gè)流量調(diào)節(jié)閥及PID控制電路，它不但可以測(cè)量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過(guò)質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量計(jì)）時(shí)，大部分氣體通過(guò)分流器，小部分氣體流過(guò)流量傳感器。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，并將流量傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器進(jìn)行線性化處理，輸出與瞬時(shí)流量成正比的電壓信號(hào)0-5VDC。放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅(qū)動(dòng)控制閥門，PID閉環(huán)控制，使流過(guò)通道的氣體流量與設(shè)定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，（氣體質(zhì)量流量控制器）能精確測(cè)量（控制）氣體流量。
因?yàn)镸FM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC測(cè)得的是氣體的質(zhì)量流量而不是體積流量，其質(zhì)量流量單位通常表示為SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）或SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)是指壓力為一個(gè)大氣壓（101.325KPa）、溫度為0度。因?yàn)樵跇?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數(shù)，該密度乘以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數(shù)，所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量等同于質(zhì)量流量。
因此，在選擇或氣體質(zhì)量流量控制器時(shí)，需要確認(rèn)流量范圍是不是該標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的標(biāo)況體積流量（也就是質(zhì)量流量）。如果是工況流量，需用下列公式換算為標(biāo)況體積流量。
在不考慮壓縮因子的情況下，氣體標(biāo)況流量與工況流量的換算公式為：
Q標(biāo)況＝Q工況 * 〔(P表壓+0.1)/0.1〕 * 〔 273.15/(273.15+T工況)〕
防腐型MFM、防腐型氣體質(zhì)量流量控制器MFC采用特殊的密封材料，可用于測(cè)量二氧化硫、氯甲烷等腐蝕性氣體。
/氣體質(zhì)量流量控制器注意事項(xiàng)
1、/氣體質(zhì)量流量控制器在出廠前均根究用戶要求調(diào)整好，用戶不得隨意自行調(diào)整。
2、使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)，須在氣路中加裝過(guò)濾器等。如果/氣體質(zhì)量流量控制器出口接有液體源瓶，應(yīng)在/氣體質(zhì)量流量控制器出口安裝單向閥，防止液體回流損壞/氣體質(zhì)量流量控制器。
3、/氣體質(zhì)量流量控制器通道采用的材料為：SUS316L不銹鋼, 聚四氟乙烯，氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無(wú)水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明。使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。
4、/氣體質(zhì)量流量控制器安裝時(shí)保持安裝面水平，但對(duì)位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可調(diào)整零點(diǎn)后再工作。如果用戶訂貨時(shí)注明安裝位置，我公司也可根據(jù)用戶的安裝位置進(jìn)行標(biāo)定后出廠。
5、對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器要注意工作壓差，應(yīng)注意使控制器進(jìn)出氣口兩端的工作壓差保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)。工作壓差不在規(guī)定的范圍內(nèi)，流量將無(wú)法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時(shí)，要注意適當(dāng)加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達(dá)不到滿量程值。
6、氣體質(zhì)量流量控制器電磁調(diào)節(jié)閥并不能當(dāng)做氣路截止閥使用，一般情況下用戶應(yīng)在控制器進(jìn)氣口前安裝電磁（手動(dòng)）截止閥。（有必要時(shí)在氣體質(zhì)量流量控制器前后都應(yīng)加裝）
7、氣體質(zhì)量流量控制器在閥控操作為“清洗”后不能直接轉(zhuǎn)為“閥控”狀態(tài)，應(yīng)先切換至“關(guān)閉”狀態(tài)。
