原位監(jiān)測橢偏儀IMS型
原位監(jiān)測橢偏儀IMS型概述:
是在科研級光譜橢偏儀的基礎(chǔ)上,根據(jù)有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要研發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測儀器,可用于金屬薄膜、無機(jī)薄膜、有機(jī)薄膜的蒸鍍、濺射等光學(xué)薄膜工藝過程的實(shí)時原位在線監(jiān)測。
特點(diǎn):
◇ 基于科研級光譜/穆勒橢偏儀實(shí)現(xiàn)對工藝的原位在線監(jiān)測
產(chǎn)品應(yīng)用: 原位監(jiān)測橢偏儀IMS 是應(yīng)用于可用于金屬薄膜、無機(jī)薄膜、有機(jī)薄膜的蒸鍍、濺射等光學(xué)薄膜工藝過程的實(shí)時原位在線監(jiān)測。
◇ 廣泛應(yīng)用可用于光學(xué)薄膜工藝過程的實(shí)時原位在線監(jiān)測 技術(shù)參數(shù):
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