原位監(jiān)測橢偏儀IMS型
原位監(jiān)測橢偏儀IMS型概述:
是在科研級光譜橢偏儀的基礎上,根據(jù)有機/無機鍍膜工藝研究的需要研發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測儀器,可用于金屬薄膜、無機薄膜、有機薄膜的蒸鍍、濺射等光學薄膜工藝過程的實時原位在線監(jiān)測。
特點:
◇ 基于科研級光譜/穆勒橢偏儀實現(xiàn)對工藝的原位在線監(jiān)測
產品應用: 原位監(jiān)測橢偏儀IMS 是應用于可用于金屬薄膜、無機薄膜、有機薄膜的蒸鍍、濺射等光學薄膜工藝過程的實時原位在線監(jiān)測。
◇ 廣泛應用可用于光學薄膜工藝過程的實時原位在線監(jiān)測 技術參數(shù):
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