產(chǎn)品簡介
薄膜電容真空壓力傳感器的測量原理是通過檢測電容變化從而得到真空度變化,能夠精確測量出超低的真空,可以測量0.018Pa~200Pa、1Pa~1kPa、10Pa~10kPa 、100Pa~100kPa 、1kPa~1Pa的真空()壓力,以及0~-100kPa的負(fù)壓。輸出信號可選擇0-5VDC或0-10VDC或4-20mA電流信號。薄膜電容真空壓力傳感器接液部分采用抗腐蝕材料,可以測量腐蝕性氣體。過程連接可選擇快卸法蘭,直管插入等幾種方式。準(zhǔn)確度高達(dá)0.25%FS,是實驗室研究開發(fā)、工藝室、半導(dǎo)體過程工具及設(shè)備、各類真空包裝真空蒸餾等設(shè)備。
產(chǎn)品特點
溫度補償范圍寬
EMI抗電磁干擾
*穩(wěn)定性好
外型結(jié)構(gòu)小巧緊湊
工作壽命長
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體處理室、半導(dǎo)體晶片的處理、裝載腔等
石油化工
生物制藥
吸收式制冷機
真空包裝
冷凍干燥設(shè)備
真空蒸餾
技術(shù)參數(shù)
尺寸圖