科研**的觀測手段——lyncee 數(shù)字全息顯微鏡可高速實(shí)時(shí)測量三維形貌，達(dá)到了亞納米精度?？朔藗鹘y(tǒng)AFM、CLSM等需要掃描進(jìn)行三維成像的特性。
Ø 測量動態(tài)三維形貌、復(fù)雜運(yùn)動、膜厚折射率等
Ø 微納器件動態(tài)三維形貌（1000fps）， 還可測MEMS頻率響應(yīng)（高達(dá)25MHz）
典型用戶
北京大學(xué) 搭建平面應(yīng)變鼓膜
清華大學(xué) 微結(jié)構(gòu)表面形貌和運(yùn)動特性測
lyncee 數(shù)字全息顯微鏡?產(chǎn)品特色：
超高速記錄動態(tài)三維形貌 MEMS測振分析，zui高可達(dá)25 MHz | 多種可控環(huán)境下測量
測量透明樣品三維形貌 |
lyncee 數(shù)字全息顯微鏡參數(shù)指標(biāo)：
系統(tǒng) | |||
DHM型號 | R1000 | R2100 | R2200 |
激光光源數(shù)量 | 1 | 2 | 3 |
工作波長 (± 1.0 nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm | 666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波長穩(wěn)定性 | 0.01 nm/ °C (666 nm) | ||
樣品臺 | 手動或電動XYZ樣品臺，zui大移動范圍 300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物鏡 | 放大倍數(shù)1.25x 至 100x，可選標(biāo)準(zhǔn)物鏡、高NA值物鏡、蓋玻片矯正物鏡、長工作距物鏡、水鏡、油鏡等 | ||
物鏡臺 | 6口旋轉(zhuǎn)物鏡臺 | ||
電腦 | Dell工作站，In® 多核處理器，高性能顯卡 針對DHM優(yōu)化配置，zui小21寸顯示器 | ||
軟件 | Koala數(shù)據(jù)采集分析軟件，基于C++ 和.NET | ||
數(shù)據(jù)格式 | 多種保存格式，數(shù)據(jù)格式包括.bin格式和.txt格式 圖像格式包括.tif格式和.txt矩陣格式 | ||
性能 | |||
測量模式 | 單激光波長 666 nm | 雙激光合成波長 4.2 μm | 雙激光合成波長 24 μm |
可用該測量模式的DHM型號 | R1000, R2100, R2200 | R2100, R2200 | R2200 |
測量精度1 [nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 * | 20 |
縱向分辨率2 [nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 * | 40 |
測量可重復(fù)性3 [nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 * | 0.5 |
動態(tài)可測縱向范圍 | zui大 200 μm | zui大 200 μm | zui大 200 μm |
zui大可測臺階高度 | zui大 333 nm4 | zui大 2.1 μm4 | zui大 12 μm4 |
適用樣品表面類型 | 平滑表面 | 復(fù)雜或非連續(xù)結(jié)構(gòu)表面 | 復(fù)雜或非連續(xù)結(jié)構(gòu)表面 |
垂直校準(zhǔn) | 由干涉濾光片決定，范圍 ±0.1 nm | ||
圖像采集時(shí)間 | 標(biāo)準(zhǔn) 500 μs (zui快可選10 μs) | ||
圖像采集速率 | 標(biāo)準(zhǔn) 30 幀/秒 (1024 x 1024 像素) (zui快可選 1000 幀/秒) | ||
實(shí)時(shí)重建速率 | 標(biāo)準(zhǔn) 25 幀/秒 (1024 x 1024 像素) (zui快可選 100 幀/秒) | ||
橫向分辨率 | 由所選物鏡決定，zui大 300 nm** | ||
視場 | 由所選物鏡決定，范圍從 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm ** | ||
工作距 | 由所選物鏡決定，范圍從 0.3 至 18 mm** | ||
數(shù)碼聚焦范圍 | zui高50倍于景深 (由所選物鏡決定) | ||
zui小可測樣品反射率 | 低于 1% | ||
樣品照明 | zui低 1 μW/cm2 | ||
頻閃模塊 ? | 適用于單光源和雙光源模式 | ||
