機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)
sj6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。分析激光干涉儀的特性和測(cè)量原理
2021-01-11標(biāo)簽:激光干涉儀
激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。
激光具有三個(gè)重要特性:
·激光波長(zhǎng)非常穩(wěn)定,可以滿足精密測(cè)量的要求。
·激光波長(zhǎng)非常短,可以用于高精度測(cè)量。
·激光具有干涉特性。
光的干涉
光具有波粒二象性。
兩列或幾列光波在空間相遇時(shí)相互迭加,在某些區(qū)域始終加強(qiáng),在另一些區(qū)域則始終削弱,形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布的現(xiàn)象。
產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動(dòng)方向一致的相干光源,才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉。由兩個(gè)普通獨(dú)立光源發(fā)出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。
激光干涉儀測(cè)量原理
為什么要用雙頻激光干涉儀?
單頻激光干涉儀是一種直流測(cè)量系統(tǒng),存在較大的零漂;同時(shí)由于空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑等會(huì)使光束發(fā)生偏移或波面扭曲,導(dǎo)致激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)。
雙頻激光干涉儀的信號(hào)時(shí)交流信號(hào),因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。
雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
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0.05ppm機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
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SJ6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)儀具有高測(cè)量精度和重復(fù)性,可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量方式,不會(huì)對(duì)被測(cè)量物體造成損傷。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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SJ6000激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
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SJ6000激光干涉位移測(cè)量?jī)x在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。
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SJ6000三坐標(biāo)幾何誤差激光干涉測(cè)量?jī)x利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)??梢詸z測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
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SJ6000數(shù)控機(jī)床精度激光干涉檢測(cè)儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
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SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量及校準(zhǔn)系統(tǒng)利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。