機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)
sj6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。分析激光干涉儀的三部分結(jié)構(gòu)
2020-12-22標(biāo)簽:激光干涉儀
激光干涉儀原理——介紹
激光器顧名思義就是能發(fā)射激光的裝置。從1954年制成了第一臺(tái)微波量子放大器,獲得了高度相干的微波束。一直到現(xiàn)在,激光干涉儀的種類就越來越多。
按工作介質(zhì)分,激光干涉儀可分為氣體激光干涉儀、固體激光干涉儀、半導(dǎo)體激光干涉儀和染料激光干涉儀4大類,近來還發(fā)展了自由電子激光干涉儀。
其工作介質(zhì)是在周期性磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)的高速電子束,激光波長(zhǎng)可覆蓋從微波到X射線的廣闊波段。按工作方式分,有連續(xù)式、脈沖式、調(diào)Q和超短脈沖式等幾類。
除自由電子激光干涉儀外,各種激光干涉儀的基本工作原理均相同。產(chǎn)生激光的必不可少的條件是粒子數(shù)反轉(zhuǎn)和增益大過損耗,所以裝置中必不可少的組成部分有激勵(lì)(或抽運(yùn))源、具有亞穩(wěn)態(tài)能級(jí)的工作介質(zhì)兩個(gè)部分。激勵(lì)是工作介質(zhì)吸收外來能量后激發(fā)到激發(fā)態(tài),為實(shí)現(xiàn)并維持粒子數(shù)反轉(zhuǎn)創(chuàng)造條件。
激勵(lì)方式有光學(xué)激勵(lì)、電激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)和核能激勵(lì)等。工作介質(zhì)具有亞穩(wěn)能級(jí)是使受激輻射占主導(dǎo)地位,從而實(shí)現(xiàn)光放大。
激光干涉儀中常見的組成部分還有諧振腔,但諧振腔(見光學(xué)諧振腔)并非必不可少的組成部分,諧振腔可使腔內(nèi)的光子有一致的頻率、相位和運(yùn)行方向,從而使激光具有良好的方向性和相干性。而且,它可以很好地縮短工作物質(zhì)的長(zhǎng)度,還能通過改變諧振腔長(zhǎng)度來調(diào)節(jié)所產(chǎn)生激光的模式(即選模),所以一般激光干涉儀都具有諧振腔。
激光干涉儀原理——結(jié)構(gòu)
激光干涉儀一般包括三個(gè)部分。
Ⅰ:激光工作介質(zhì)
激光的產(chǎn)生必須選擇合適的工作介質(zhì),可以是氣體、液體、固體或半導(dǎo)體。在這種介質(zhì)中可以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),以制造獲得激光的必要條件。顯然亞穩(wěn)態(tài)能級(jí)的存在,對(duì)實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)世非常有利的?,F(xiàn)有工作介質(zhì)近千種,可產(chǎn)生的激光波長(zhǎng)包括從真空紫外道遠(yuǎn)紅外,非常廣泛。
Ⅱ:激勵(lì)源
為了使工作介質(zhì)中出現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),必須用一定的方法去激勵(lì)原子體系,使處于上能級(jí)的粒子數(shù)增加。一般可以用氣體放電的辦法來利用具有動(dòng)能的電子去激發(fā)介質(zhì)原子,稱為電激勵(lì);也可用脈沖光源來照射工作介質(zhì),稱為光激勵(lì);還有熱激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)等。各種激勵(lì)方式被形象化地稱為泵浦或抽運(yùn)。為了不斷得到激光輸出,必須不斷地“泵浦”以維持處于上能級(jí)的粒子數(shù)比下能級(jí)多。
Ⅲ:諧振腔
有了合適的工作物質(zhì)和激勵(lì)源后,可實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),但這樣產(chǎn)生的受激輻射強(qiáng)度很弱,無法實(shí)際應(yīng)用。人們就想到了用光學(xué)諧振腔進(jìn)行放大。所謂光學(xué)諧振腔,實(shí)際是在激光干涉儀兩端,面對(duì)面裝上兩塊反射率很高的鏡。一塊幾乎全反射,一塊光大部分反射、少量透射出去,以使激光可透過這塊鏡子而射出。被反射回到工作介質(zhì)的光,繼續(xù)誘發(fā)新的受激輻射,光被放大。因此,光在諧振腔中來回振蕩,造成連鎖反應(yīng),雪崩似的獲得放大,產(chǎn)生強(qiáng)烈的激光,從部分反射鏡子一端輸出。
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0.05ppm機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
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SJ6000機(jī)床激光干涉測(cè)量校準(zhǔn)儀具有高測(cè)量精度和重復(fù)性,可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量方式,不會(huì)對(duì)被測(cè)量物體造成損傷。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
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SJ6000激光干涉儀測(cè)量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
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SJ6000激光干涉位移測(cè)量?jī)x在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償。
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