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對于出發(fā)時測頭，控制系統(tǒng)有保護措施。當測頭運動時，CPU不斷跟蹤x，y，z三個坐標值。若測端與工件接觸，測頭發(fā)出采樣信號。在中斷服務(wù)程序中，CPU不僅獨處x,y,z三個坐標的瞬時值，并將他們存入采樣換中去，而且同時停止插補運算，使坐標測量機停止運動。CPU根據(jù)預(yù)先設(shè)定的后退速度與后退距離，按與原進給相反的方向重新設(shè)定命令位置，控制伺服系統(tǒng)使測頭原進給的路徑返回，移動預(yù)定的后退距離后停止。用這種方法可以保證測端與工件接觸后只移動一段很小的距離，就立即與工件脫離接觸。測端要能與工件接觸后只移動很小的距離，就立即與工件脫離接觸。測端只要能與工件接觸，就一定是沿一個安全的測量軌跡進給的，新詞按原軌跡回也就不會在與工件其他部分碰撞。

當然，后退距離設(shè)置要合理。她應(yīng)小于北側(cè)工件的內(nèi)尺寸，否則測頭與內(nèi)尺寸一側(cè)接觸后，按預(yù)置的后退距離向另一側(cè)移動，在尚未停止以前，又與該側(cè)接觸，這樣測頭就會在該內(nèi)尺寸兩側(cè)產(chǎn)生展堂，使控制系統(tǒng)陷入死循環(huán)。因此，在設(shè)計CNC測量程序時，首先應(yīng)對所有測量點的相關(guān)尺寸進行仔細計算，然后再對CNC控制參數(shù)進行初始設(shè)定。

在初始化時就已經(jīng)設(shè)定了模擬式測頭側(cè)瞄準位移與極限位移，所以當測端達到瞄準位移時，控制系統(tǒng)立即控制伺服進給系統(tǒng)，使坐標測量機減速并停止。若測頭還繼續(xù)進給，達到極限位移，控制系統(tǒng)立即發(fā)出緊急制動信號使系統(tǒng)自動鎖定。對于掃描測量，它總是沿被掃描曲線的切線方向控制伺服系統(tǒng)的運動，三坐標測頭位移量是預(yù)先設(shè)定的，三坐標控制系統(tǒng)在每個采樣周期對測端的位置進行計算，使測頭位移向量的模始終保持在設(shè)定值。