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潔凈室壓差檢測的目的是為了驗證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項檢測適用于空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)的潔凈室的占用狀態(tài),工程完工后需要定期進行壓差檢測。那么潔凈室工程設(shè)計、規(guī)劃、安裝竣工之后,潔凈室的壓差如何根據(jù)設(shè)計方案來設(shè)定呢?如何能檢測出潔凈室的壓力是多少pa呢?有什么科學(xué)的檢測方法?
一、無塵車間工程中壓力測試方法有哪些呢?
1、無塵車間-對-無塵車間
2、無塵車間-對-公共參考點
需要記錄大量壓差的大型制藥廠通常采用公共參考點方法,由此使微壓差傳感器的數(shù)目實現(xiàn)最小化,同時盡減小多個讀數(shù)合計時所產(chǎn)生的復(fù)合誤差。用管路將壓降變送器(通常是 ;高 ;側(cè))的一個端口連接到被監(jiān)控的潔凈室,而另一側(cè)(通常是 ;低 ;側(cè))則用管路連接到位于不受室外風(fēng)影響的壓力穩(wěn)定部位的公共參考點(或通過集流管連接到壓力穩(wěn)定的部位)。理想壓力參考點的位置應(yīng)有較大的容積,開口較少,相對于室外而言無壓力變化或者變化速度緩慢。
二、無塵車間工程中靜壓差的測定要求:
1、靜壓差的測定是潔凈廠房內(nèi)所有的門全關(guān)閉狀態(tài)下進行的。
2、應(yīng)從潔凈度高到潔凈度低的房間順序進行,一直到直通室外的房間。
3、測管口設(shè)置在室內(nèi)不受氣流干擾的地方。
4、所測數(shù)據(jù)應(yīng)精確到 1.0Pa。
三、無塵車間工程中靜壓差的測定步驟:
1、是將潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全處于關(guān)閉狀態(tài)下。
2、用微壓差計測量潔凈室之間,潔凈室和走廊之間, 走廊與外界之間的壓差。
3、記錄在案
4、靜壓差測定用的儀器:靜壓差測定一般采用的儀器為德國貝克微壓差變送器,傾斜式壓力計,精密指針式壓力計或靈敏度小于 1.0Pa 的其它壓力計。
四、合格標準:
1、不同級別的潔凈室工程(區(qū))與非潔凈室潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)不小于5Pa。風(fēng)淋室是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。
2、潔凈室工程(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)不小于 10Pa。層流罩目前級別的當(dāng)屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級,屬于特殊領(lǐng)域,面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。
3、對于潔凈度等級嚴的單相流潔凈室在開門時,門內(nèi) 0.6m 處室內(nèi)工作面的含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。
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