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公元1600年，伽里略研制出氣體溫度計(jì)。直到1821年由德國(guó)物理學(xué)家塞貝克發(fā)現(xiàn)了把溫度變成電信號(hào)的塞貝克效應(yīng)制作出了熱電偶傳感器來測(cè)量溫度，此次發(fā)現(xiàn)為工業(yè)革命留下了不可磨滅的貢獻(xiàn)。早期由于技術(shù)的限制，傳感器不能同時(shí)實(shí)現(xiàn)測(cè)量溫度和濕度兩個(gè)功能，所以為了測(cè)溫度和濕度兩個(gè)重要參數(shù)，不得不同時(shí)來使用溫度傳感器和濕度傳感器。

一百年后，研制成酒精溫度計(jì)和水銀溫度計(jì)。

隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)發(fā)展的需要，相繼研制出金屬絲電阻、溫差電動(dòng)式元件、雙金屬式溫度傳感器。

1950年以后，相繼研制成半導(dǎo)體熱敏電阻器。最近，隨著原材料、加工技術(shù)的飛速發(fā)展、又陸續(xù)研制出各種類型的溫度傳感器。

此后，隨著科技的發(fā)展，人們研制出各種溫濕度傳感器。本世紀(jì)，在半導(dǎo)體技術(shù)的支持下，相繼誕生了半導(dǎo)體熱電偶傳感器、 PN結(jié)溫度傳感器和集成溫度傳感器。與之相應(yīng)，根據(jù)波與物質(zhì)的相互作用規(guī)律，相繼開發(fā)了聲學(xué)溫度傳感器、紅外傳感器和微波傳感器。溫度傳感器有四種主要類型：熱電偶、熱敏電阻、電阻溫度檢測(cè)器（RTD）和IC溫度傳感器。

熱電偶傳感器有自己的優(yōu)點(diǎn)和缺陷。熱電偶溫度傳感器的靈敏度與材料的粗細(xì)無關(guān)，用非常細(xì)的材料也能夠做成溫度傳感器。也由于制作熱電偶的金屬材料具有很好的延展性，這種細(xì)微的測(cè)溫元件有極髙的響應(yīng)速度，可以測(cè)量快速變化的過程。然而熱電偶傳感器的靈敏 度比較低，容易受到環(huán)境干擾信號(hào)的影響，也容易受到前置放大器溫度漂移的影響，因此不適合測(cè)量微小的溫度變化。