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P35A.T35系列大行程壓電偏轉鏡

來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2025年01月02日 15:50  

P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高頻率特點的二維運動壓電偏轉鏡。它可產生θx、θy二維偏轉,偏轉角度達±18.5mrad,空載諧振頻率達2kHz,可配置閉環(huán)傳感器,閉環(huán)重復定位精度可達0.025%F.S.。外觀采用方形的設計,在物理上實現(xiàn)空間的最l大化利用便于集成,非常適合高精度大行程角度的快速偏轉應用。產品外觀如下圖所示。

產品特點

二維θx、θy偏轉

偏轉角度達±18.5mrad

空載諧振頻率2kHz

可定制

可選配閉環(huán)傳感器

產品應用

P35A.T35系列壓電偏轉鏡可廣泛應用于圖像處理/穩(wěn)定、隔行掃描/抖動、光過濾/開關、激光掃描、光束偏轉與穩(wěn)定、掃描顯微等光學應用。

技術參數 

型號

P35A.T35S/K

運動自由度

θx、θy

驅動控制

3路驅動,2路傳感

標稱偏轉角度(0~120V)

±14.8mrad/軸

偏轉角度(0~150V)

±18.5mrad/軸

傳感器類型

SGS/-

閉/開環(huán)分辨率

1.2μrad/0.4μrad

線性度

0.13%F.S./-

重復定位精度

θx0.05%F.S.,

θy0.025%F.S./-

空載諧振頻率

2000Hz

帶載諧振頻率

1800Hz(負載Φ12.7×3mm鏡片)

1100Hz(負載Φ24.5×3mm鏡片)

閉環(huán)階躍時間

7ms@Φ12.7×3mm鏡片 8ms@Φ24.5×3mm鏡片

靜電容量

7.2μF/軸

材質

鈦合金、鋁

重量

155g

配套控制器

E80.D3S-P多通道壓電控制器非常適用于驅動P35A.T35系列壓電偏轉鏡,采用模擬和數字控制,具有3個輸出通道,其中1通道輸出恒壓,非常適于差分驅動。此外,該控制器配備有傳感信號監(jiān)測部分,可反饋體現(xiàn)壓電偏轉鏡偏轉角度的電壓信號,實現(xiàn)對偏轉鏡的高精確度控制??刂破骺蓾M足電磁兼容試驗(CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103)、力學沖擊試驗(重力加速度20g)、22.6kPa低氣壓試驗(絕對值)等諸多嚴格的環(huán)境試驗。

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