高頻壓力傳感器的工作原理

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來源：成都科大勝英科技有限公司 2024年05月15日 10:20

高頻壓力傳感器是一種能夠測(cè)量高速變化的壓力信號(hào)的傳感器。它有多種類型和結(jié)構(gòu)，其中一種常見的是MEMS壓力傳感器。

它的工作原理是：

壓力傳感器利用壓阻效應(yīng)原理，即當(dāng)材料受到應(yīng)力時(shí)，其電阻值會(huì)發(fā)生變化；

壓力傳感器采用三維集成電路工藝，在單晶硅片薄膜上制成四個(gè)應(yīng)變電阻，構(gòu)成一個(gè)惠斯通檢測(cè)電橋；

當(dāng)被測(cè)介質(zhì)施加壓力時(shí)，橋壁電阻值發(fā)生變化，產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號(hào)；

這個(gè)信號(hào)經(jīng)專用放大和濾波處理后，輸出一個(gè)與壓力成正比的模擬或數(shù)字信號(hào)。

壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)速度快、靈敏度高等特點(diǎn)，適用于汽車、航空、醫(yī)療等領(lǐng)域的高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量。

CY400高頻壓力傳感器.jpg

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