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測試原理
       濕度測量儀器從原理上可分為冷鏡式、吸收電解式、電容式、薄膜電容式、電阻式、干濕球、機械式。其中吸收電解式微水儀、電容式露點儀一般用于低濕范圍的測量，而電阻式、干濕球、機械式濕度計只能用于相對濕度的測量，冷鏡式、薄膜電容式，濕度計則不僅能用于低濕的測量，還能用于中高濕，即相對濕度的測量。上述各種原理的儀器各有其優(yōu)缺點。其中冷鏡式露點儀是*準確、*可靠、*基本的測量方法，被廣泛地用于標準傳遞，但其缺點是價格比較昂貴，并需要有經(jīng)驗的人操作及保養(yǎng)。

1.冷鏡式露點儀 

測量原理 ：

被測濕氣進入露點測量室時掠過冷鏡面，當鏡面溫度高于濕氣的露點溫度時，鏡面呈干燥狀態(tài)，此時光電檢露裝置中光源發(fā)出的光照在鏡面上，幾乎反射，由光電傳感器感應到并輸出光電信號，經(jīng)控制回路比較、放大、驅動熱電泵，對鏡面致冷。當鏡面溫度降至濕氣露點溫度時，鏡面上開始結露（霜），光照在鏡面上出現(xiàn)漫反射，光電傳感器感應到的反射信號隨之減弱，此變化經(jīng)控制回路比較、放大后調(diào)節(jié)熱電泵激勵，使其制冷功率適當減小后，鏡面溫度保持在樣氣露點溫度上。鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應，并顯示在顯示窗上。 
       目前世界上生產(chǎn)冷鏡式露點儀的公司，例如歐伯特等公司均是采用這一原理，英國的MICHELL則是采用雙光路檢測系統(tǒng)，即同時對反射光及散射光進行檢測， 
在測量過程中，隨著溫度的降低，被測氣體中的水汽接近飽和狀態(tài)，由于引力作用，水分子吸附在鏡面上形成一層薄薄的水膜。這是形成露的階段。當鏡面溫度繼續(xù)下降時，水膜的厚度逐漸增加，這是形成露的階段。在這一階段內(nèi)，自由表面對水分子的引力與水膜的表面張力之間的力量對比開始發(fā)生變化，后者的影響逐漸起支配作用。此時冷卻表面上的任何不穩(wěn)定的因素，例如鏡面上的微小傷痕等，都會使水膜縮聚成液滴。隨著鏡面溫度的進一步下降，露滴開始出現(xiàn)，通過顯微鏡可以看到孤立生長而且分布不規(guī)則的露滴，然后露層以很快的速度在表面上擴散，此時可以認為液-汽平衡開始，即達到露點。

 優(yōu)缺點 
    優(yōu)點：屬基本測量，測量準確，并且儀器比較穩(wěn)定無漂移，目前準確度*高的儀器可達±0.1℃。 
    缺點：價格較高，對操作人員的要求較高，并需進行維護。對污染物敏感。在-20℃~0℃范圍內(nèi)有時會有過冷水存在，因此要特別小心區(qū)分過冷水和霜。 

2、氧化鋁電容式濕度計 

     測量原理、結構及應用范圍 
該儀器形式繁多，例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進行數(shù)據(jù)處理的、顯示多參數(shù)的等等。但其本質是一個電容器，通過將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導電的基體上，然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過金薄層被孔狀的氧化鋁吸收，這個電容器的阻抗與水分子個數(shù)，即水汽分壓成一定的比例。通過測量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓，通過換算可得到露點值。 
位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在10-3Pa(約相當于-110℃露點)到水的飽和汽壓的整個范圍內(nèi)都有響應。由于其對水的強烈的親和力，再加上水的較大的介電常數(shù)，使得這類儀器對水有高度的選擇性，而對其它普通氣體及有機氣和液體沒有響應。 

在中高濕范圍其準確度一般為±1~±2℃，低濕范圍，比如-100℃時，準確度一般為±2~±3℃。該類傳感器不與烴類氣體、CO、CO2、含氯氟烴氣體發(fā)生反應，但對于不同的氣體其漂移不同。對于某些腐蝕性氣體，例如氨、SO3以及氯，則會損壞傳感器，因此應盡量避免。 

       2 .2使用注意事項 
這類儀器通常的測量范圍為-110℃~+20℃。當被測露點較高時，會使得儀器產(chǎn)生較大的漂移。同時還需注意溫度系數(shù)。由于其對水汽分壓產(chǎn)生響應，因此應注意測量時氣體總壓的變化。 
避免灰塵、油污，測量時氣體流量較大，一般為3~5（L/min），甚至更大。 

      2.3 優(yōu)缺點 
    優(yōu)點：較寬的響應范圍，從1μL/L（ppmv）到80%RH，可以遠程安裝，可以現(xiàn)場使用，相對穩(wěn)定，響應較快，溫度系數(shù)較小，與流量變化無關，對水分有較高的選擇性，可以在較寬的溫度和壓力范圍內(nèi)使用，日常維護量較小，體積小。 

    缺點：該方法是間接測量，在較高的溫度下操作或某些氣體會引起漂移，受腐蝕性氣體的影響，必須定期校準以克服老化、滯后及污染。由于響應值非線性，因此需對每只傳感器進行校準，不能通用。