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HYDAC賀德克壓力傳感器HDA8400是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成的。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被側(cè)壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
賀德克壓力傳感器的分類:
多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過(guò)程一樣,將各種傳感器進(jìn)行多層次。多空間的信息互補(bǔ)和優(yōu)化組合處
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