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隨著科學(xué)技術(shù)的深入研究,在低溫真空強(qiáng)磁的環(huán)境下提供納米級精密定位的應(yīng)用在物理學(xué)、化學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用越來越多,而低溫真空無磁壓電運(yùn)動平臺是一種高精度精密定位設(shè)備,主要特點是高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性,可在低溫、真空及磁場等情況下提供精密定位,在半導(dǎo)體加工、檢測等方面廣泛應(yīng)用。
XD106.XYZ60K
產(chǎn)品特點
· 低溫真空無磁,耐低溫可達(dá)4K
· XYZ三維運(yùn)動
· 4K溫度下位移達(dá)30μm/軸
· 分辨率可達(dá)2nm
· 開環(huán)運(yùn)動控制
· 響應(yīng)速度快
產(chǎn)品應(yīng)用
· 半導(dǎo)體加工
· 半導(dǎo)體檢測
· 高精密測試和操作
· 其他真空無磁要求的納米運(yùn)動控制等
技術(shù)參數(shù)
推薦控制器
芯明天設(shè)計生產(chǎn)多款壓電控制器,如模塊化、小體積型、大功率、工業(yè)式、集成式等。可根據(jù)不同應(yīng)用場景選擇合適的壓電控制器。
E00/E01系列壓電控制器
E70.C3系列壓電控制器
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