抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應,使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據(jù)壓力量程的不同標定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應變式傳感器相兼容。通過激光標定,
傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補償0 ~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
陶瓷是一種*的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40 ~135 ℃,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號強,長期穩(wěn)定性好。高特性,低價格的陶瓷傳感器將是DX100P齊平膜壓力傳感器的發(fā)展方向,在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢,在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴散硅壓力傳感器。PT500-501/502/503/504壓力傳感器/變送器采用全不銹鋼封焊結(jié)構(gòu),具有良好的防潮能力及優(yōu)異的介質(zhì)兼容性。廣泛用于工業(yè)設備、水利、化工、醫(yī)療、電力、空調(diào)、金剛石壓機、冶金、車輛制動、樓宇供水等壓力測量與控制。
厚膜壓力傳感器是繼擴散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術(shù)創(chuàng)新,而力敏Z-元件是目前國內(nèi)外*具有數(shù)字信號輸出的敏感元件,因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的zui簡單電路的巧妙結(jié)合,可以出現(xiàn)一種性能優(yōu)異、成本低廉的新型傳感器。具體來說,陶瓷厚膜工藝有下述優(yōu)點: 厚膜電阻(包括高溫導線)能與陶瓷彈性膜片牢固地燒結(jié)在一起,不需用膠進行粘貼。這種剛性結(jié)構(gòu)蠕變小,漂移小,靜態(tài)性能穩(wěn)定,動態(tài)性能好。 陶瓷彈性體性能優(yōu)良,平整、均勻、質(zhì)密的材料在程度范圍內(nèi)都嚴格遵循虎克定律,無塑性變形。厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡單,易于制備。它與擴散硅壓力傳感器相比,不需半導體平面工藝來形成擴散電阻彈性膜片,大幅度減小了生產(chǎn)線的前期投入和工藝加工成本。
陶瓷厚膜壓力傳感器結(jié)構(gòu)耐液體或氣體介質(zhì)的腐蝕,不需通過不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換與隔離,封裝結(jié)構(gòu)簡化,進一步降低成本。 工作溫度范圍寬, 可達-40℃~120℃。工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比,只要微壓力不小于1Kpa,原則上較高的量程也易于實現(xiàn)。