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　　摘要：本文利用長光柵的位移傳感器，借助CCD（電荷耦合器件）圖像傳感器代替?zhèn)鹘y(tǒng)的硅光電池檢測莫爾條紋，完成了信號的細(xì)分，并實現(xiàn)對位移和角度的高精度測量。因此，若利用光柵精密測量位移或角度，可利用光電元件測出莫爾條紋的移動，通過脈沖計數(shù)得到度量。

       光柵傳感器的作用是能夠?qū)崿F(xiàn)精密測量，其測量原理建立在莫爾條紋的基礎(chǔ)上。由于光的干涉效應(yīng)，將等柵距的兩塊光柵以微小夾角重疊在一起，可以看到在近似垂直柵線方向上出現(xiàn)明暗相間的條紋，稱為莫爾條紋，如圖1所示：B為莫爾條紋間距，W為光柵間距：　　
　　光柵線夾角θ小，莫爾條紋寬帶B越大，相當(dāng)于把W放大了1/θ倍，大大的提高了測量靈敏度，也方便了光電元件的放置。　　　
　　測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及工作方式
　　
　　以位移測量為例，通常光柵傳感器是由光路系統(tǒng)、一對光柵副、與指示光柵相對位置固定的光電接收元件、整形細(xì)分電路組成。當(dāng)光柵副中任一光柵沿垂直于刻線方向移動時，莫爾條紋就會沿近似垂直于光柵移動的方向運(yùn)動。當(dāng)光柵移動一個柵距時，莫爾條紋就移動一個條紋間隔B。光電接收元件將莫爾條紋的明暗強(qiáng)弱變化轉(zhuǎn)換為電量輸出。該正弦波經(jīng)整形為方波，在一個完整的光柵測量系統(tǒng)中，后級電路（往往是以單片機(jī)為核心）接收該信號后，根據(jù)兩路或多路信號的時序關(guān)系判別運(yùn)動方向，并根據(jù)方波個數(shù)判斷位移。
　　
　　光柵數(shù)字傳感器的測量分辨率等于一個柵距。但是，在精密檢測中常常需要測量比柵距更小的位移量，為了提高分辨率，可以采用兩種方法實現(xiàn)：1）增加刻線密度來減小柵距，但是這種方法受光柵刻線工藝的限制。2）采用細(xì)分技術(shù)，在莫爾條紋變化一周期時，不只輸出一個脈沖，而是輸出若干個脈沖，以減小脈沖當(dāng)量，提高分辨力。細(xì)分的方法有多種，如直接細(xì)分、電橋細(xì)分、鎖相細(xì)分、調(diào)制信號細(xì)分和軟件細(xì)分等。下面介紹論文采用的4倍直接細(xì)分的信號處理過程。
　　
　　根據(jù)莫爾條紋的性質(zhì)，光電元件產(chǎn)生的信號近似為正弦波。A、B為兩個光電元件，使A、B的位置相距1/4B那么A、B輸出的正弦信號相位差π/2，如圖2所示。設(shè)莫爾條紋移動方向為從A到B。ABπ/2，A、B兩路信號經(jīng)整形后變?yōu)榉讲?，?/4個周期為單位時間，則在一個周期內(nèi)的4個單位時間內(nèi)，A依次為1、1、0、0，B依次為0、1、1、0，AB代表的二進(jìn)制數(shù)為10，11，01、00，即光柵移動一個柵距內(nèi)，可以得到4組信號，根據(jù)不同的信號值從而將位移確定在1/4個柵距內(nèi)，實現(xiàn)了4倍細(xì)分。同時根據(jù)AB代表的系列值可以判斷移動方向。　　
　　圖像傳感器的選用
　　
　　根據(jù)以上對光柵傳感器的剖析，可以看出要想提高對莫爾條紋的細(xì)分精度，可以采用提高光柵線的密度或放置更多路光敏元件實現(xiàn)對信號更高倍的細(xì)分的方法。但是由于工藝上的難度成本上的限制，不可能無限制地提高光柵線的密度，目前較普遍的是1mm50～100線。也不可能地在保證一定的相位差下放置多路光敏元件。所以從以上兩點(diǎn)入手試圖改進(jìn)光柵傳感器的精度意義不大。目前的光柵傳感器一般采用硅光電池，再配以相應(yīng)的后續(xù)電路完成信號處理。所以考慮采用新的圖像探測器件來取代傳統(tǒng)的光電池是另一種值得考慮的方法。
　　
　　CCD圖像傳感器與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）圖像傳感器目前已經(jīng)得到大量而廣泛的應(yīng)用。CCD圖像傳感器和CMOS圖像傳感器都基于硅半導(dǎo)體材料，但由于工作機(jī)理和結(jié)構(gòu)的不同，這兩種傳感器在性能上存在著很大的區(qū)別，主要體現(xiàn)在集成度、讀出方式、功耗、動態(tài)范圍、靈敏度和價格上。雖然CMOS圖像傳感器的生產(chǎn)過程較簡單、成本較低、功耗較小，但其具有信噪比低、寬動態(tài)范小、電荷轉(zhuǎn)換效率低和輸出圖像質(zhì)量低的缺點(diǎn)，而CCD圖像傳感器的zui大優(yōu)點(diǎn)是信噪比高、靈敏度和動態(tài)范圍大、電荷轉(zhuǎn)換效率高和輸出圖像質(zhì)量高。綜合以上特點(diǎn)，對于光柵傳感器的應(yīng)用來說，CCD更適于對精度和靈敏度要求較高的莫爾條紋的檢測。
　　
　　CCD圖像傳感器的功能是把二維圖像光學(xué)信號轉(zhuǎn)變成一維視頻信號或數(shù)字信號。從結(jié)構(gòu)上分為線陣CCD和面陣CCD兩大類，從受光方式分為正面光照和背面光照兩種。線陣CCD有單溝道和雙溝道兩種信號讀出方式，其中雙溝道信號讀出方式的信號轉(zhuǎn)移效率高。面陣CCD的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，常見的有幀轉(zhuǎn)移（FT）CCD、全幀轉(zhuǎn)移（FFT）CCD、隔列內(nèi)線轉(zhuǎn)移（IIT）CCD、幀內(nèi)線轉(zhuǎn)移（FIT）CCD、累進(jìn)掃描內(nèi)線轉(zhuǎn)移（PSIT）CCD等。如以幀轉(zhuǎn)移（FT）CCD面陣，CCD由成像區(qū)（光敏區(qū)）、暫存區(qū)和水平讀出寄存器三部分構(gòu)成。每個成像單元稱為一個像素。假定有M個轉(zhuǎn)移溝道，每個溝道有N個成像單元，那么整個成像區(qū)共有M×N個像素。暫存區(qū)的結(jié)構(gòu)和單元數(shù)與成像區(qū)相同，暫存區(qū)與水平讀出寄存器均作遮光處理。工作時，圖像經(jīng)物鏡成像到光敏區(qū)，光敏區(qū)上面的電極加有適當(dāng)?shù)钠珘簳r，光生電荷被收集到電極下方的勢阱里，這樣就將光學(xué)圖像變成了電荷包圖像。當(dāng)光積分周期結(jié)束時，加到成像區(qū)和暫存區(qū)電極上的時鐘脈沖使所有收集到的信號電荷迅速轉(zhuǎn)移到暫存區(qū)中，然后經(jīng)由水平讀出寄存器，在時鐘脈沖控制下，經(jīng)輸出級逐行輸出一幀信息。在*幀讀出的同時，第二幀信息通過光積分又收集到勢阱中。這樣可以一幀一幀連續(xù)地讀出。
　　
　　系統(tǒng)設(shè)計
　　
　　下面采用CCD圖像傳感器FTF4052M芯片實現(xiàn)對莫爾條紋的檢測。DALSA公司的FTF4052M型CCD是一款全幀型CCD圖像傳感器，具有22M像素（4008×5334）的超大分辨率全幀CCD圖像傳感器，內(nèi)部功能結(jié)構(gòu)如圖3所示。
　　
　　圖3中，芯片在結(jié)構(gòu)上分為3部分：⒈中間zui大的區(qū)域為光敏區(qū)，即光積分區(qū)域。每個光敏單元都有在行列方向上的地址，行選通邏輯和列選通邏輯共同選定某光敏單元，考慮到各像敏單元的偏置電壓不均勻，使用增益控制和平衡控制等輔助電路對信號進(jìn)行校正。特別是對于處于莫爾條紋光強(qiáng)波谷處的像敏單元，其信號是微弱的，此時該校正是很必要的。⒉上下兩部分為兩個輸出寄存器。將光積分生成的電荷水平轉(zhuǎn)移到4個角的輸出放大器，輸出放大器將光生電荷形成的電壓信號放大并轉(zhuǎn)移出CCD。C1、C2、C3為水平像素轉(zhuǎn)移寄存器的時鐘信號。A1、A2、A3、A4為垂直行驅(qū)動時鐘信號。⒊TG是光敏區(qū)與輸出寄存器之間的隔柵;OG是輸出柵;SG是輸出柵之前的zui后一個柵;RG是輸出放大器。該芯片的zui大特點(diǎn)是將光敏區(qū)生成的圖像分成W、X、Y、Z四個對稱的象限，每個象限的電荷可以以不同的方向轉(zhuǎn)移，通過四個輸出端同時輸出，有效地提高了幀速率，單端輸出的幀速率為1FPS，而四端同時輸出就可以達(dá)到3.6FPSs。工作時，莫爾條紋投射在CCD圖像傳感器表面，莫爾條紋沿X軸向左或向右平移，產(chǎn)生明顯的莫爾條紋光強(qiáng)分布。　　
　　由于CCD圖像傳感器的同一列像元從上至下的光強(qiáng)分布是一致的，莫爾條紋的光強(qiáng)分布只是體現(xiàn)在行方向上，所以無需進(jìn)行逐行掃描，只需考察一行上的像元信號即可分析莫爾條紋的移動情況，這樣大大降低了信號處理任務(wù)。圖4代表莫爾條紋在一行像敏單元上的光強(qiáng)分布，X軸為莫爾條紋移動方向，Y軸表示光強(qiáng)的大小。莫爾條紋在各行分布一致的情況僅僅是理想的情況，實際上由于光柵線質(zhì)量，光柵間隙等工藝因素的影響，各行情況會略有差別，所以可以考慮選擇不同位置的幾行，考察其光強(qiáng)分布情況，避免信號質(zhì)量差時過大的單行誤差，達(dá)到降低誤差的目的。
　　
　　FTF4052M和光柵傳感器、DSP、MCU和PC組成測量系統(tǒng)時，系統(tǒng)工作原理框圖如圖5。
　　
　　系統(tǒng)上電后，CCD圖像傳感器初始化，根據(jù)相關(guān)寄存器值控制有關(guān)參數(shù)，確定采集圖像的窗口位置、大小和工作模式;MCU通過對FTF4052M芯片發(fā)出時鐘信號指令、以及對FTF4052M芯片進(jìn)行時序控制，來完成參數(shù)的配置;系統(tǒng)配置完后，F(xiàn)TF4052M芯片開始對莫爾條紋信號進(jìn)行采集，并輸出同步信號給MCU，其包括垂直同步信號、水平同步信號、數(shù)據(jù)同步信號，判別一幀圖像數(shù)據(jù)的開始和結(jié)束;DSP發(fā)出讀信號請求后，MCU根據(jù)同步信號決定是否開始數(shù)據(jù)采集;采集的數(shù)據(jù)被送至RAM;DSP接收到READY信號后開始采集數(shù)據(jù)并處理;數(shù)據(jù)zui終被送往PC進(jìn)行處理，得出測量結(jié)果。
　　
　　結(jié)論
　　
　　從信號處理的角度來說，zui簡單的方法就是通過調(diào)整光柵夾角，使莫爾條紋間隔B和CCD圖像傳感器zui大感知圖像的行方向長度一致，設(shè)其為L。該方向有n個像素，將L分為n份，即細(xì)分倍數(shù)達(dá)到n倍，對位移的分辨精度達(dá)到了W/n（以FTF4052M為例，其分辨率為1312×1036）。設(shè)光柵線密度為100線/mm，W=0.01mm，故位移分辨精度為：W/n=0.01/13127nm?？紤]到光柵線質(zhì)量問題等，該理論值并不代表整個傳感器在實際測量中能達(dá)到的精度。但經(jīng)過實測，采用CCD圖像傳感器對莫爾條紋的分辨精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于采用傳統(tǒng)的硅光電池和整形細(xì)分電路等對莫爾條紋的分辨精度。并且，隨著集成電路技術(shù)的提高，CCD圖像傳感器的性能指標(biāo)也在不斷的改善，對莫爾條紋的分辨率將不斷提高，滿足光柵傳感器現(xiàn)在和未來的高精度、高分辨率等測量需求將綽綽有余，理論上，若提供的莫爾條紋信號質(zhì)量足夠高，則可以實現(xiàn)納米級的測量精度。