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案例展示 | 科邁捷流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)氣體流量測(cè)量中的應(yīng)用

來源:合肥科邁捷智能傳感技術(shù)有限公司   2023年04月21日 15:24  

半導(dǎo)體行業(yè)組件制造是微細(xì)加工領(lǐng)域,生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電機(jī)整合及工程設(shè)計(jì)等多個(gè)步驟。因此對(duì)于生產(chǎn)過程中的工藝和技術(shù)有著極為嚴(yán)苛的要求。壓縮空氣系統(tǒng)從屬于動(dòng)力設(shè)備與系統(tǒng),為半導(dǎo)體組件生產(chǎn)提供重要的動(dòng)力能源。



高精度的流量測(cè)量和控制是半導(dǎo)體組件制造的關(guān)鍵,科邁捷流量計(jì)因具有量程范圍寬、測(cè)量精度高、抗干擾能力強(qiáng)等多種優(yōu)點(diǎn),成為工業(yè)氣體流量測(cè)量的理想選擇。本文分享的是科邁捷流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的案例。


案例背景

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國內(nèi)一家大型半導(dǎo)體制造商,半導(dǎo)體制造過程中涉及大量的加工技術(shù),因此對(duì)于壓縮空氣的用量要求十分嚴(yán)苛。工廠的壓縮空氣系統(tǒng)由1臺(tái)離心壓縮機(jī)、5臺(tái)螺桿壓縮機(jī)、若干臺(tái)緩沖罐及干燥機(jī)和過濾器組成。該工廠通過企業(yè)成本核算發(fā)現(xiàn),工廠車間每天消耗大量的壓縮空氣,占其總能耗的20-30%,這個(gè)消耗量**同行業(yè)用氣量的平均水平。

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該工廠的工程師對(duì)過高的用氣消耗展開調(diào)查和深入的系統(tǒng)測(cè)試后,將注意力集中到了安裝在輸送管網(wǎng)上的流量計(jì)上。輸氣管道暴露在工業(yè)振動(dòng)環(huán)境設(shè)備中,與流量計(jì)連接的振動(dòng)管道會(huì)嚴(yán)重干擾流量傳感器,導(dǎo)致流量測(cè)量不準(zhǔn)確,并且在無流量時(shí)仍然顯示有流量測(cè)量。

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客戶訴求
  • 精確測(cè)量空壓機(jī)房主管出氣量;

  • 精確測(cè)量各車間用氣量;

  • 流量計(jì)長期穩(wěn)定運(yùn)行。


解決方案

科邁捷技術(shù)人員了解到客戶的訴求之后,認(rèn)為采用VFM60MV渦街流量計(jì)能**滿足測(cè)量精度需求。根據(jù)現(xiàn)場工況,需要流量計(jì)具備高精度、抗干擾的高性能流量計(jì),科邁捷VFM60MV具有**的雙探頭抗振結(jié)構(gòu)結(jié)合**保護(hù)的數(shù)字信號(hào)處理技術(shù),能夠從噪聲中提取有用信號(hào)準(zhǔn)確穩(wěn)定測(cè)量,在保持工況流量測(cè)量精度為±1.0%RD的情況下,測(cè)量下限達(dá)2m/s,成為工廠壓縮空氣流量測(cè)量的優(yōu)選。

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科邁捷技術(shù)人員將VFM60MV渦街流量計(jì)分別安裝于空壓站內(nèi)部以及車間內(nèi)輸送的主管道上,以此來計(jì)量空壓機(jī)主管出氣量以及各車間用氣量。VFM60MV渦街流量計(jì)運(yùn)行穩(wěn)定,計(jì)量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠,客戶所關(guān)心的測(cè)量精度以及穩(wěn)定性等問題**解決。


產(chǎn)品選用


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VFM60MV渦街流量計(jì)

  • 靈敏度*高,氣體流量下限可達(dá)2m/s;

  • 量程比全面超越傳統(tǒng)渦街,測(cè)量流速范圍寬;

  • **雙渦街傳感器設(shè)計(jì),優(yōu)異的抗振性能;

  • 無可動(dòng)部件,無壓力損失;

  • 內(nèi)置溫度、壓力傳感器,可測(cè)量介質(zhì)溫度、壓力;

  • 直接測(cè)量蒸汽質(zhì)量流量,無需外接溫度壓力補(bǔ)償;

  • 大屏幕液晶雙行顯示,讀數(shù)清晰易辨。


客戶利益

該客戶于2019年底順利采購VFM60MV渦街流量計(jì)共計(jì)35臺(tái),截至今日所有流量計(jì)運(yùn)行穩(wěn)定,測(cè)量效果穩(wěn)定可靠,不僅為工廠提供高精度的壓縮空氣流量測(cè)量,為提升空氣壓縮機(jī)能效、降低企業(yè)成本提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐,同時(shí)科邁捷的遠(yuǎn)程診斷功能為客戶提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。


案例背景

該工廠在半導(dǎo)體組件的生產(chǎn)過程中,除了在壓縮空氣的使用中需要精確的測(cè)量,對(duì)氮?dú)獾氖褂靡彩侨绱?。氮?dú)饩哂锌捎眯院投栊?,它是半?dǎo)體制造過程的各工藝中使用的核心氣體,高純氮?dú)饽軌驅(qū)Π雽?dǎo)體組件進(jìn)行氣氛保護(hù)與清洗,保證半導(dǎo)體與集成電路的質(zhì)量,不僅能夠提高生產(chǎn)效率,還有效提升了產(chǎn)品質(zhì)量。

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由于氮?dú)庠诎雽?dǎo)體組件的整個(gè)生產(chǎn)過程中被大量使用,大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備都在現(xiàn)場保留一臺(tái)制氮機(jī)。因此,在努力滿足高需求的同時(shí),保持低成本也是工廠運(yùn)營過程中的重要一環(huán)。


測(cè)量要求
  • 精確測(cè)量各制氮機(jī)的產(chǎn)氣量;

  • 精確測(cè)量各車間用氣量。


解決方案

通過了解客戶需求和對(duì)現(xiàn)場工況的掌握,科邁捷技術(shù)人員提出最為合理的解決方案,并選擇符合工廠需求的*優(yōu)產(chǎn)品——TGF460熱式氣體質(zhì)量??七~捷技術(shù)人員將使用TGF460熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)安裝于制氮機(jī)后管道上,在提供精準(zhǔn)測(cè)量數(shù)據(jù)的同時(shí),數(shù)據(jù)通過物聯(lián)網(wǎng)上傳至客戶控制室電腦,客戶可隨時(shí)查看實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)和歷史數(shù)據(jù),方便、直觀、精準(zhǔn)。


產(chǎn)品選用

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TGF460熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)

  • 插入式設(shè)計(jì),探桿直徑∅11,無需借助外界工具實(shí)現(xiàn)在線安裝;

  • 帶藍(lán)牙傳輸功能,可通過手機(jī)APP操作;

  • 帶Modbus通訊,可讀取電量表數(shù)據(jù);

  • 通過無線網(wǎng)絡(luò)將數(shù)據(jù)上傳至物聯(lián)網(wǎng),實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控;

  • 量程比大,測(cè)量流速范圍寬;

  • 無可動(dòng)部件,無壓力損失;

  • 測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無需溫度、壓力補(bǔ)償;

  • 全隔離的電氣結(jié)構(gòu)**濾除外部干擾。


客戶利益

TGF460流量計(jì)測(cè)量精度為±(1.5%RD+0.5%FS),量程比最小為10:1,最高可達(dá)100:1,**滿足在不穩(wěn)定情況下壓縮空氣計(jì)量要求,精準(zhǔn)的測(cè)量數(shù)據(jù)為企業(yè)實(shí)現(xiàn)高效的成本管控提供提供可靠依據(jù)。

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