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差壓式流量計(jì)與熱式質(zhì)量流量計(jì)的性能比較

2011年12月02日 10:12

　　V10FC系列氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)（以下稱MFC/MFM）通過測(cè)量層流元件的差壓、壓力、溫度來計(jì)算流量，這種測(cè)量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。本產(chǎn)品可以同時(shí)測(cè)量4種參數(shù)：氣體的瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓，并且可以同時(shí)顯示和輸出。
　　
　　雖然傳統(tǒng)的熱式原理不需經(jīng)過溫壓補(bǔ)償即可以直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,但是熱式原理產(chǎn)品具有先天性的缺陷：長期加熱的工作模式產(chǎn)生的熱漂移,反應(yīng)速度慢等缺點(diǎn)是不可避免的,而采用差壓原理的MFC/MFM幾乎無零點(diǎn)和溫度漂移,反應(yīng)速度快,無需預(yù)熱,上電即可操作,解決了長期困擾客戶的問題。目前，一些的熱式流量計(jì)廠家正在紛紛開發(fā)差壓式質(zhì)量流量計(jì)。
　　　　
　　差壓式與熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理性能對(duì)照表

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