壓電物鏡定位器在激光晶圓切割的應(yīng)用

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壓電物鏡定位器在激光晶圓切割的應(yīng)用

來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2022年05月29日 15:33

　　壓電物鏡定位器的命名實(shí)際由它的驅(qū)動(dòng)原理及其應(yīng)用目的相結(jié)合而來的。“壓電”指的是它的驅(qū)動(dòng)原理，即利用PZT壓電陶瓷來作為驅(qū)動(dòng)源從而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)；而“物鏡定位器”則是它的應(yīng)用目的，即用來帶載物鏡頭調(diào)節(jié)運(yùn)動(dòng)。但通常情況下，壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的，它可以根據(jù)實(shí)際使用要求帶載不同類型的物鏡頭。

　　通常情況下，壓電物鏡定位器的行程約100μm，但大行程版壓電物鏡定位器的行程可達(dá)1mm。例如芯明天P73系列壓電物鏡定位器，它的Z軸直線運(yùn)動(dòng)范圍可選200μm、500μm和1mm。同樣采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)，無摩擦、運(yùn)動(dòng)直線性好且閉環(huán)定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計(jì)，可適配多種型號(hào)的顯微鏡。

　　壓電物鏡定位器的特點(diǎn)主要是其高精度的運(yùn)動(dòng)以及超快速的響應(yīng)速度。這個(gè)高精度到底有多高呢？分辨率可≤1nm！壓電物鏡定位器的分辨率可高至比1納米（nm，1nm＝10＾－9m）還要微小。

　　激光晶圓切割的原理是激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成由多個(gè)點(diǎn)連成的切縫從而達(dá)到切割的目的。

　　壓電物鏡定位器堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了非?？斓姆€(wěn)定時(shí)間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動(dòng)態(tài)性。

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