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加拿大LightMachinery準(zhǔn)分子激光器 原理介紹

來(lái)源:天津瑞利光電科技有限公司   2022年03月21日 09:47  

產(chǎn)品型號(hào):IPEX-800 Series

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產(chǎn)品介紹:

 

IPEX 系列激光器專為制造環(huán)境中的高占空比操作而設(shè)計(jì),可提供高功率紫外激光加工和性能。IPEX 激光器采用LightMachinery的exciPure 技術(shù),可提供超長(zhǎng)的氣體壽命、光學(xué)穩(wěn)定性和對(duì)激光器工作參數(shù)的控制。操作準(zhǔn)分子激光器的單一成本是激光氣體消耗(也稱為動(dòng)態(tài)氣體壽命)。憑借exciPure 技術(shù),LightMachinery 的氣體使用量比競(jìng)爭(zhēng)激光器提高了10 倍。這一技術(shù)突破大大降低了運(yùn)行激光器的成本。安裝在光學(xué)端口上的 EasyClean自動(dòng)閥允許密封激光室并保留氣體填充/鈍化,同時(shí)移除諧振器光學(xué)器件進(jìn)行清潔和維護(hù)。IPEX-800 激光器易于使用、維修簡(jiǎn)單且操作經(jīng)濟(jì),結(jié)合了高精度準(zhǔn)分子加工的優(yōu)勢(shì)、當(dāng)今市場(chǎng)上的總擁有成本和正常運(yùn)行時(shí)間。上面顯示的陶瓷標(biāo)記是這些多功能工業(yè)工具的眾多應(yīng)用之一。

 

特征

exciPure 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)令人難以置信的 10 倍氣體壽命和運(yùn)行成本

無(wú)需昂貴的低溫氣體凈化器

EasyClean 自動(dòng)光學(xué)密封件可保持氣體填充并減少停機(jī)時(shí)間

光學(xué)維護(hù)

可選的高亮度光學(xué)元件,適用于需要低光束發(fā)散或延長(zhǎng)相干長(zhǎng)度的應(yīng)用

高穩(wěn)定性光學(xué)安裝座可實(shí)現(xiàn)光束指向精度

簡(jiǎn)單集成到工業(yè)處理系統(tǒng)中

 

優(yōu)勢(shì)

延長(zhǎng)氣體壽命、長(zhǎng)更換間隔、低運(yùn)行成本

簡(jiǎn)化光學(xué)維護(hù),保留氣體填充和鈍化

提供200微弧度的指向穩(wěn)定性

清潔或更換光學(xué)元件后無(wú)需重新校準(zhǔn)

內(nèi)部、突發(fā)和外部觸發(fā)模式下的快速、準(zhǔn)確的能量穩(wěn)定

優(yōu)異的能量穩(wěn)定性,優(yōu)于1.0% (KrF)

去除微粒并保持光學(xué)元件清潔度

 

應(yīng)用

24/7 脈沖激光沉積

精密制造

材料加工

鉆孔

剝線

科學(xué)研究

激光雷達(dá)

激光誘導(dǎo)擊穿光譜

參數(shù):

 

波長(zhǎng)

193nm ArF

248nm KrF

308 XeCl

351 XeF

脈沖能量max. (mJ) IPEX-840

230

450

300

275

脈沖能量max. (mJ) IPEX-860

250

700

600

350

穩(wěn)定脈沖能量 (mJ) IPEX-840

150

400

250

225

穩(wěn)定脈沖能量 (mJ) IPEX-840

200

600

500

300

 

穩(wěn)定平均功率 (W)

 

IPEX-848

30

80

50

45

IPEX-846

15

40

25

22

IPEX-844

6.0

20

12

11

IPEX-842

3.0

10

6.0

5.5

IPEX-868

20

60

50

30

IPEX-866

10

30

25

15

IPEX-864

5.0

18

10

9

IPEX-862

2.5

9.0

5.0

4.5






重復(fù)頻率max. (Hz)

 

IPEX-848

200

200

200

200

IPEX-846

100

100

100

100

IPEX-844

40

50

50

50

IPEX-842

20

25

25

25

IPEX-868

100

100

100

100

IPEX-866

50

50

50

50

IPEX-864

25

30

20

30

IPEX-862

12

15

10

15

 

脈沖持續(xù)時(shí)間:12 至 20 ns FWHM

能量穩(wěn)定性,1 Sigma:1% (KrF)

光束尺寸 (mm) (V x H):IPEX-740 系列 12 x 26

光束尺寸 (mm) (V x H):IPEX-760 系列 12 x 28

光束發(fā)散度 (mrad) (V x H):1 x 3 或者可以使用高亮度不穩(wěn)定諧振器光學(xué)器件降低到 0.25mrad

電源要求:?jiǎn)蜗啵?/span>200 - 240 V 50/60Hz; 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW。8x2:1kW

冷卻要求:可選空氣冷卻至 25Hz 操作,水冷以更高的重復(fù)率

激光氣體:預(yù)混或單個(gè)氣瓶

重量:8x8 型號(hào) 400kg,8x6/8x4/8x2 型號(hào):380kg

 


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